진공에도 사용 가능한 적외선 히터

칩 제조 과정에서의 탄소 감소: 왜 진공 적외선이 최적의 해결책인가 반도체를 제조하는 것은 매우 정밀한 작업입니다. 정확한 온도가 필요하며, 웨이퍼에 오염물질이나 먼지가 들어가는 것을 결코 허용할 수 없습니다. 오랫동안 우리는 크고 복잡한 저항식 가열장치를 사용해왔지...