IR 가열을 활용한 센서 포장 과정에서의 탄소 배출 감소 실제로 칩 제조 과정에서 탄소 중립을 달성하려면, 그런 거대한 대류식 오븐에 의존하는 것을 그만두어야 합니다. 그런 오븐들은 너무 많은 에너지를 낭비합니다. 대신, 우리는 표적을 정확히 공격할 수 있는 적외선...

MEMS 웨이퍼를 건조할 때 안전을 유지하는 방법 현실적으로 말하자면, 화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 마치 불장난과 같습니다. 가열 요소가 가연성이 있고 폭발성인 기체들 바로 옆에 위치해 있기 때문입니다. 일반적인 적외선 램프를 사용한...

IR 열을 활용하여 수소 센서를 정확하게 제작하기 수소 센서를 만들어본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 센서의 막이 손상되지 않도록 하고, 촉매제가 제대로 부착될 수 있도록 하려면 열 분포를 정확하게 조절해야 합니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔...

고부하 IR 램프에 문제가 생겼을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 솔직히 말해서, 고부하 반도체 제조 환경에서 램프가 고장나는 것은 큰 재앙입니다. 그건 단순히 5분 안에 교체할 수 있는 손상된 부품이 아닙니다. 혼란스러운 상황이 벌어지죠. 석영관이 깨지면 유리...

서론 반도체 웨이퍼를 다룰 때 올바른 온도를 유지하는 것은 단순히 중요한 것이 아니라, 반드시 지켜져야 할 핵심 사항입니다. 그래서 우리는 열을 정확하게 필요한 곳에만 전달할 수 있는 적외선 가열 시스템을 개발했습니다. 즉, 온도 센서나 가열 구역에 정확하고 집중된...