반도체 건조 과정을 진정으로 친환경적으로 만들기 반도체 웨이퍼를 다룰 때는 열을 효과적으로 관리하는 것이 매우 중요합니다. 용매와 수분을 제거해야 하지만, 열 관리를 제대로 하지 못하면 귀중한 실리콘이 망가질 수 있습니다. 오랫동안 우리는 기존의 저항식 가열 시스템을...

공정 현장에서 포토레지스트 베이크 중 단 0.5도 온도 변화만으로도 전체 캐리어를 폐기해야 하는 경우가 발생합니다. 약속만 하는 건 의미가 없습니다. 온도를 안정적으로 유지하는 드라이어가 필요합니다. 저희는 중국에서 국제 반도체 장비와 동등한 수준의 웨이퍼 드라이어를...

반도체 제조 현장에서는 단 몇 도의 온도 차이가 안정적인 공정을 변동으로 전환시킨다. 리소그래피와 포토레지스트 공정에서 베이크 단계는 단순한 예열이 아니다. 이는 선폭 제어, 측벽 프로파일, 결함 수준을 결정하는 열 예산이다. 드라이어가 미끄러지면 웨이퍼 전반에 걸쳐...