적외선 램프가 웨이퍼를 파괴하는 것을 막으세요. 고부하 생산 과정에서는 적외선 가열 램프에 엄청난 부담이 가해집니다. 결국 램프가 고장 나거나, 최악의 경우 가열 챔버 내부에서 폭발하기도 합니다. 그러면 석영 조각들과 필라멘트의 잔해들이 여기저기 흩어지게 됩니다. 이...

왜 우리가 오븐 대신 적외선을 사용하는가? 솔직히 말해서, 반도체를 건조시키는 기존의 방식인 대형 대류식 오븐을 사용하는 것은 점점 효율적이지 않습니다. 이제 많은 사람들이 적외선을 활용한 건조 방식으로 전환하고 있습니다. 이는 단순히 ‘친환경적인 방법’을 따르거나...

제조 공장에서는 건조 단계에서 발생하는 약간의 오차만으로도 포토레지스트의 특성이 규격에서 벗어날 수 있습니다. 그 결과 웨이퍼를 폐기해야 하고, 불필요하게 에너지가 낭비됩니다. 게다가 비효율적인 가열 과정과 그에 따른 재조정 작업으로 인해 에너지 낭비가 점점 더 심해...