진공에도 사용 가능한 적외선 히터
칩 제조 과정에서의 탄소 감소: 왜 진공 적외선이 최적의 해결책인가
반도체를 제조하는 것은 매우 정밀한 작업입니다. 정확한 온도가 필요하며, 웨이퍼에 오염물질이나 먼지가 들어가는 것을 결코 허용할 수 없습니다. 오랫동안 우리는 크고 복잡한 저항식 가열장치를 사용해왔지...
진공 챔버용 적외선 히터
단 하나의 램프만 고장 나도 전체 생산 공정이 망가지는 것을 막아야 합니다.
고부하가 걸리는 생산 환경에서 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그건 진짜 악몽과 같은 상황입니다.
진공 챔버 내부에서 석영관이 깨지면, 그냥 고장 난 램프만 있는 것이 아닙니...