웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

적외선 가열 vs. 열풍 가열: 웨이퍼를 어떻게 가열할 것인가? 웨이퍼 처리에 있어서 열풍 가열 방식에서 적외선 가열 방식으로 전환한다면, 그것은 곧 열이 웨이퍼에 도달하는 방식 자체를 바꾸는 것입니다. 강제 순환하는 공기를 이용하는 방식을 생각해보세요. 공기를 가열...