웨이퍼용 고정밀 가열 시스템

생산 현장에서는 리소그래피 작업이 자체적인 속도로 진행되기 때문에, 공정이 진행 중일 때는 일시 정지시킬 수 없습니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하거나 하드 베이크하는 동안 IR 온도가 변동하면, 치명적인 문제가 발생할 수 있으며, 그로 인해 생산 효율도 저하됩니다...