적외선 가열 vs. 열풍 가열: 웨이퍼를 어떻게 가열할 것인가? 웨이퍼 처리에 있어서 열풍 가열 방식에서 적외선 가열 방식으로 전환한다면, 그것은 곧 열이 웨이퍼에 도달하는 방식 자체를 바꾸는 것입니다. 강제 순환하는 공기를 이용하는 방식을 생각해보세요. 공기를 가열...

에너지를 낭비하지 않으면서 웨이퍼를 올바르게 경화시키는 방법 반도체 공장에서 탄소 중립을 실현하고 싶다면, 핵심은 열을 어떻게 관리하느냐에 달려 있습니다. 웨이퍼를 경화할 때, 포토레지스트를 굳히거나 용매를 제거하려 할 때, 에너지를 낭비해서는 안 됩니다. 비결은 반...

적외선 램프가 웨이퍼를 파괴하는 것을 막으세요. 고부하 생산 과정에서는 적외선 가열 램프에 엄청난 부담이 가해집니다. 결국 램프가 고장 나거나, 최악의 경우 가열 챔버 내부에서 폭발하기도 합니다. 그러면 석영 조각들과 필라멘트의 잔해들이 여기저기 흩어지게 됩니다. 이...

MEMS 웨이퍼를 건조할 때 안전을 유지하는 방법 현실적으로 말하자면, 화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 마치 불장난과 같습니다. 가열 요소가 가연성이 있고 폭발성인 기체들 바로 옆에 위치해 있기 때문입니다. 일반적인 적외선 램프를 사용한...

고부하 IR 램프에 문제가 생겼을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 솔직히 말해서, 고부하 반도체 제조 환경에서 램프가 고장나는 것은 큰 재앙입니다. 그건 단순히 5분 안에 교체할 수 있는 손상된 부품이 아닙니다. 혼란스러운 상황이 벌어지죠. 석영관이 깨지면 유리...

서론 반도체 웨이퍼를 다룰 때 올바른 온도를 유지하는 것은 단순히 중요한 것이 아니라, 반드시 지켜져야 할 핵심 사항입니다. 그래서 우리는 열을 정확하게 필요한 곳에만 전달할 수 있는 적외선 가열 시스템을 개발했습니다. 즉, 온도 센서나 가열 구역에 정확하고 집중된...

공정 현장에서 포토레지스트 베이크 중 단 0.5도 온도 변화만으로도 전체 캐리어를 폐기해야 하는 경우가 발생합니다. 약속만 하는 건 의미가 없습니다. 온도를 안정적으로 유지하는 드라이어가 필요합니다. 저희는 중국에서 국제 반도체 장비와 동등한 수준의 웨이퍼 드라이어를...

300 mm 라인에서 건조 중 0.1°C 미만의 온도 드리프트만으로도 중요한 치수가 나노미터 단위로 이동할 수 있으며 입자 수가 증가하는 현상이 발생한다. 이러한 상황이 바로 MEMS 웨이퍼 건조 히터가 설계된 목적이며, 여기서 열 거동은 단순한 파라미터가 아니라 공...