웨이퍼용 고정밀 적외선 센서
고부하 IR 램프에 문제가 생겼을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
솔직히 말해서, 고부하 반도체 제조 환경에서 램프가 고장나는 것은 큰 재앙입니다. 그건 단순히 5분 안에 교체할 수 있는 손상된 부품이 아닙니다. 혼란스러운 상황이 벌어지죠. 석영관이 깨지면 유리...
웨이퍼용 고정밀 가열 시스템
생산 현장에서는 리소그래피 작업이 자체적인 속도로 진행되기 때문에, 공정이 진행 중일 때는 일시 정지시킬 수 없습니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하거나 하드 베이크하는 동안 IR 온도가 변동하면, 치명적인 문제가 발생할 수 있으며, 그로 인해 생산 효율도 저하됩니다...