别再浪费时间来加热空气了
如果你曾经在半导体加工过程中使用过热空气循环系统，那么你一定知道这种方法的缺点——效率极低。因为必须等待整个烤箱完全加热之后，工件才能开始受热。这就好比在开始做饭之前先试图用暖风机把房间弄热一样。
我们则采用不同的方法：使用红外线灯与铝制反射器相结合的方式。这样，热量就不会用于加热空气，而是直接传递到材料上。
为什么铝如此重要？
单凭红外线灯来说，有一半的热量会直接反射回机器的机壳中，这显然是浪费。而高纯度铝则可以充当光子的“镜子”，将所有能量重新反射到工件上。由于铝对短波和中等波长的光有很好的反射效果，因此能够实现更精准的热量分布。
缩短等待时间
热空气系统存在很大的“热惯性”，也就是说，它们需要很长时间才能达到稳定状态。而红外线系统则完全不同——几乎可以立刻产生热量。只要使用适当的反射器，就可以避免因等待而造成的时间浪费。这样一来，处理每块晶圆的所需时间就会大大减少。
需要注意的问题
当然，这并不是什么神奇的方法。虽然高反射率的铝非常好，但它也相当敏感。如果在恶劣的化学环境或极高温度下使用，其表面可能会氧化，从而导致反射率下降。灰尘和污垢也是致命的敌人——一旦反射器被污染，其效率就会下降，热量分布也会变得混乱。只要保持反射器的清洁，它就能继续正常工作。
对于大多数半导体生产流程来说，这是一种非常好的解决方案。它不仅能节省大量空间，还能避免因等待对流式烤箱升温而带来的麻烦。不过需要注意的是，必须确保冷却风扇能够处理那些未能传递给工件的热量。否则，就有可能在处理晶圆时损坏自己的电子设备。