
如何让红外反射器发挥出更多热量(而无需付出过多努力)
如果您曾经使用过半导体晶圆清洗设备,那么您一定知道其中存在的难题。水是一种“吸热剂”——它会以极快的速度从晶圆上吸收能量,远远快于我们所能补充的能量。因此,为了达到预期效果,我们需要一种能够尽可能多地将能量传递到晶圆表面的红外系统,这样才能防止这些能量被环境吸收掉。
大多数人选择使用铝制反射器。虽然铝制反射器不错,但它们的效率较低——它们会吸收过多能量,相当于把能量白白浪费掉了。因此,我们才选择使用黄金作为反射材料。
为什么选择黄金?
听起来很高级,但实际上这只是出于实用性的考虑。在近红外光谱范围内,黄金的反射效率远远高于抛光过的钢或铝。我们在设备表面涂上一层薄薄的黄金涂层,这样就能将本会散失的辐射重新反射回去。这样一来,原本分散的辐射就变成了集中的光束,每一瓦特的能量都能准确地照射到晶圆上。
更高的热量,更低的能耗
最棒的是,我们可以让灯的输出功率与黄金的反射率相匹配。这样,就可以在不增加电源功率的情况下获得更高的热量密度。这样一来,设备的体积就可以保持小巧。如果试图用普通反射器来达到同样的温度,那就必须提高功率,而这很容易导致灯丝烧毁或设备损坏。
需要注意的一点
虽然黄金的反射性能非常好,但它非常柔软。因此,不能使用磨砂布或强化学物质来清洁它。如果划伤了涂层,就会在晶圆上出现“冷点”,这种情况很难修复。建议使用温和的清洁方法来保持涂层的完美状态。
最好的一点是,这些反射器可以直接替换现有的反射器。只需将其接入现有的控制系统,即可正常使用。您会发现,晶圆达到目标温度的速度会快很多。
最后提醒一下:由于热量非常集中,务必确保冷却风扇能够处理灯体末端产生的热量。