На виробничій лінії зміни температури під час процесу випалювання не супроводжуються сигналами попередження. Це проявляється у зміні значення CD на рівні 0,3%, у зміні ширини лінії та у появі дефектних виробів після закінчення терміну корекції. Коли лампа печі зношується, параметри можуть залишатися стабільними, проте поверхня пластини все одно нагрівається. Тож потрібні запасні частини, які будуть забезпечувати стабільну температуру протягом усього процесу.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми розробляємо ці запасні частини для забезпечення стабільної температури під час обробки напівпровідників. Елемент нагріву забезпечує стабільну температуру протягом усього часу роботи, а однорідність температури на поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C. Це дозволяє зберегти правильні параметри процесу випалювання, що, у свою чергу, допомагає контролювати критичні розміри виробів. Компоненти призначені для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали та ущільнювачі підібрані так, щоб процес випалювання не спричиняв появи домішок.
Повторюваність результатів є ключовою характеристикою цих компонентів. Температура швидко повертається до нормальних значень після відкриття дверей, а система керування налаштована так, щоб уникнути перевищення температури, що може пошкодити поверхню пластини.
Чому це ефективно
У процесах літографії та обробки резистів температура є критичним фактором, який неможливо скоригувати пізніше. Точне керування температурою сприяє підвищенню якості виробів: менше випадків пошкодження поверхні пластини, менше необхідності в повторній обробці, а також більш стабільні параметри процесу. Це також покращує стабільність обладнання, зменшуючи кількість неспланованих зупинок через несправності ламп та час, витрачений на корекцію температури.
Кінцевим результатом є зниження витрат на одну пластину – менше відходів, менше необхідності в заміні запасних частин, а також стабільний рівень продуктивності.
Що потрібно знати
Ці запасні частини підходять для використання на основних платформах обладнання виробників. Однак їх правильна установка та з’єднання є важливими. Плануйте заміну під час технічного обслуговування та скористайтеся цією можливістю для перевірки стану контактів термопар та ущільнювачів дверей. Для отримання найкращих результатів слід підібрати запасну частину, яка буде відповідати початковій кривій калібрування, та перевірити її функціонування на зразковій пластині перед випуском продукції.