На виробничій лінії навіть незначна зміна у процесі сушіння може призвести до того, що параметри фотополімеру не будуть відповідати стандартам. У результаті доводиться викидати непридатні пластини та марнувати енергію. А як щодо витрат на енергію? Вони поступово зростають через неефективні цикли нагрівання та необхідність постійної калібрування. Ми створили термічну систему, яка допомагає вирішити обидві проблеми: вона скорочує споживання енергії, водночас забезпечуючи необхідний рівень температури для процедури літографії.
Що є важливим з технічної точки зору
Протягом усього процесу сушіння ми підтримуємо однорідність температури на рівні ±0,1°C. Це дозволяє дотримуватися встановлених параметрів сушіння. Система працює у чистих приміщеннях класу 1–100 без утворення частинок, що захищає якість продукції на критичних етапах виробництва. Архітектура нагрівача розроблена для цілодобової роботи без перерв, а термін служби перевищує 10 000 годин.
Повторюваність процесу контролюється, а не просто припускається. Кожен цикл процесу відбувається в межах встановлених параметрів, а система керування залишається стабільною навіть при зміні напруги.
Чому це працює на реальній виробничій лінії
Споживання енергії тут є очевидним, можливим до вимірювання та контролю. Ми проводимо аудит споживання енергії, розраховуючи його за кожною партією та за кожною пластиною. Потім ми коригуємо параметри нагрівання, щоб уникнути зайвого нагрівання, не впливаючи при цьому на якість процесу. Це дозволяє досягти швидших циклів виробництва, зменшити витрати на енергію та кількість відкинутих партій – без зміни параметрів процесу літографії. Результатом є стабільний контроль параметрів та зниження вартості однієї пластини з місяця в місяць.
Що потрібно знати
Ця платформа інтегрується з існуючими установками та печами, але їй потрібна окрема схема живлення та система подачі чистого повітря для підтримки необхідної однорідності температури. Потрібно передбачити час на налаштування параметрів відповідно до вимог процесу літографії. Після налаштування система працює як слід – безперервно, повторювано та енергоефективно.