На поверхні апарату для літографії навіть зміна температури на 2°C під час процесу висушування фоторезисту може призвести до зміни критичних розмірів на кілька нанометрів, що призводить до того, що багато пластин стають непридатними для подальшого використання. Інфрачервоний нагрівач R7s розроблений так, щоб тепло поширювалося саме в потрібному місці, а не по всій поверхні апарату.
Що є важливим у цьому пристрої
R7s випромінює короткохвильове інфрачервоне світло, яке безпосередньо нагріває фоторезист та підкладку. Рівень температури швидко досягає необхідного значення та залишається стабільним. Рівномірність температури на всій поверхні пластини становить ±0,1°C, що дозволяє отримувати стабільні результати під час процесу висушування.
Кварцова оболонка та внутрішня конструкція нагрівача розроблені так, щоб не виникало осаду частинок під час роботи пристрою. У чистих приміщеннях класу 1–100 це допомагає уникнути значних коливань кількості частинок. Крім того, пристрій може працювати стабільно протягом 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5% – це означає можливість безперервної роботи без постійної налаштування.
Чому цей пристрій підходить для процесу літографії
У процесі літографії дуже важлива контрольованість температури. Надмірне нагрівання призводить до витікання розчинника та зміни в’язкості матеріалу. Недостатнє нагрівання спричиняє утворення крапель на краях пластини, що заважає правильному нанесенню матеріалу. За допомогою R7s можна ефективно контролювати температуру та час процесу, що дозволяє отримувати однакові результати при кожному циклі виробництва.
Така стабільність дозволяє скоротити кількість необхідних корекцій, підвищити продуктивність та скоротити час виконання процесу. Крім того, пристрій використовує менше енергії, оскільки його реакція є швидкою, а втрати мінімальними. Довгий термін служби також означає менше необхідності заміни пристрою та менше часу простою лінії виробництва.
Що потрібно враховувати
R7s призначений для використання в стандартних корпусах типу R7s. Однак пристрій має відповідати певним вимогам: геометрія відбивача та напрямок потоку повітря мають відповідати тепловим характеристикам лампи, щоб забезпечити рівномірність температури на рівні ±0,1°C. Є короткий період підготовки перед досягненням необхідного рівня температури, тож пристрій потрібно налаштувати відповідно до послідовності роботи контролерів.
Для отримання найкращих результатів рекомендується поєднувати цей пристрій із каліброваним датчиком температури та контролером, який може компенсувати коливання напруги в мережі.