На виробничій лінії теплові фактори поступово знижують якість продукції. Навіть незначна різница температури у 0,5°C на поверхні пластини під час процедури висушування фотолаку, або несправна лампа під час процесу випаровування можуть перетворити процес, який мав би бути стабільним, на щось непередбачуване. Ми створили нагрівальну лампу Evatec для усунення цих проблем.
Що є важливим з технічної точки зору
Лампа використовує галогенний випромінювач короткої довжини хвилі, розташований у кварцовому корпусі. Це забезпечує швидке та пряме випромінювання тепла з часом реакції менше секунди. Рівномірність температури на всій поверхні пластини становить ±0,1°C, а стабільність температури залишається високою протягом усього процесу. Конструкція не спричиняє появи частинок, тож рівень забруднення в чистій кімнаті класу 1–100 залишається на необхідному рівні. Лампа працює 24/7 без неспланованих перерв, а її продуктивність залишається стабільною протягом понад 5 000 годин – зниження продуктивності становить менше 5%.
Чому це ефективно на практиці
Чи йдеться про висушування пластин після очищення, контрольоване висушування фотолаку, висушування матеріалів у упаковці чи завершальне промивання та висушування – у всіх цих випадках температурний режим залишається стабільним. Висока рівномірність температури сприяє зменшенню кількості дефектів на краях пластин, скороченню кількості коригувань та забезпечує стабільний контроль критичних розмірів під час літометрії. Швидка реакція лампи скорочує час виконання процедури, а стабільна продуктивність зменшує кількість відходів та подовжує термін служби лампи – менше необхідності у заміні та менше енергії на одну пластину.
Що вам потрібно знати
Під час встановлення необхідно забезпечити сумісність інтерфейсу з’єднання інструменту та правильне розташування відбивача відносно отвору камери. Інтенсивність випромінювання налаштовується відповідно до конкретних параметрів випаровування, тож для використання лампи на різних машинах необхідна швидка переналаштування параметрів. Після зміни лампи необхідно провести коротку перевірку для забезпечення стабільності рівномірності температури.