Чому для процедури м’якого випалювання потрібні спеціальні нагрівачі
Ми виробляємо нагрівальні елементи для процедури м’якого випалювання, призначені саме для початкової стадії виробництва пластин. Суть проста: необхідно підтримувати температуру саме там, де це потрібно під час затвердіння фотолаку.
Адже різниця у один градус може призвести до втрати всієї партії продукції. Тож ми створили наші нагрівачі на основі високоякісних галогенних ламп. Вони забезпечують стабільне тепло саме там, де це необхідно, і ніде більше.
Енергія, напруга та обсяг приміщення
Ці нагрівачі розроблені для використання в обмежених просторах. Вони працюють при високій напрузі та високій щільності, тож можуть розміщуватися в компактних приміщеннях без втрати ефективності.
Напруга 400 В забезпечує необхідну потужність у компактних розмірах – наприклад, 300 мм кварцової трубки. Цей вибір напруги зменшує струм, що дозволяє уникнути використання великих провідників, а також зменшує температуру клем.
Потужність 2500 В дозволяє швидко досягти необхідної температури та підтримувати її навіть під час активної роботи.
Щодо фізичних розмірів – вони відповідають стандартним параметрам обладнання для літографії, тож їх можна без проблем встановити на місце існуючого обладнання.
Матеріали, які забезпечують ефективну роботу
Усередині знаходиться короткохвильовий галогенний елемент, розташований у кварцовій трубці високої чистоти. Кварц добре переносить теплові навантаження та забезпечує стабільну передачу тепла. Галогенний цикл забезпечує стабільність філамента протягом тривалого часу, тож профілі нагрівання залишаються стабільними.
Трубка має з’єднувач типу R7s – двопінова конструкція, яка забезпечує міцний контакт, стійкість до теплових навантажень та полегшує заміну лампи під час технічного обслуговування.
Ми працюємо при високих температурах, тож клеми та проводка розроблені для постійної роботи в таких умовах.
Як це виглядає на практиці
На виробництві процедура м’якого випалювання мусить відбуватися швидко та рівномірно, щоб фотолак затвердів до початку процесу експозиції. Наші нагрівачі забезпечують це завдяки щільному полю випромінювання та точному контролю температури.
Компактні розміри дозволяють легко інтегрувати ці нагрівачі в існуючі системи нанесення/випалювання. Але є один недолік – через високу щільність тепла необхідно правильно налаштувати систему охолодження та потік повітря, щоб температура навколо лампи залишалась на потрібному рівні.
Ми довіряємо цій системі – вона забезпечує стабільну температуру навіть під час багаторазової роботи. Якщо ви хочете протестувати її разом з вашим обладнанням, ми надамо всі необхідні параметри та дозволимо цифрам говорити самим за себе.