چرا برای فرآیند پخت نرم، به گرمکنی مناسب نیاز است؟ ما گرمکن‌هایی برای فرآیند پخت نرم در لیتوگرافی تولید می‌کنیم؛ این گرمکن‌ها به‌طور خاص برای مرحله...

در فرآیند لیتوگرافی، مراحل پخت نرم و سخت، جایی هستند که پروفایل رزیست فتوولتائیک شکل می‌گیرد یا از بین می‌رود. اگر فرآیند پخت در سراسر ویفر یکنواخت...

در طبقه لیتوگرافی، شما با روند کار آشنا هستید: یک پخت که حتی نیم درجه تغییر کند، کنترل CD را از مشخصات خارج می‌کند. شما DUV photoresist را از طریق...