چرا برای فرآیند پخت نرم، به گرمکنی مناسب نیاز است؟
ما گرمکنهایی برای فرآیند پخت نرم در لیتوگرافی تولید میکنیم؛ این گرمکنها بهطور خاص برای مرحله اول تولید ویفرها طراحی شدهاند. هدف اصلی این است که حرارت را دقیقاً در جایی که لازم است، حفظ کنیم؛ یعنی در همان زمانی که فوتورزیست در حال التیام است.
چرا که واقعیت این است که اگر دما یک درجه اختلاف داشته باشد، ممکن است کل محموله از بین برود.
بنابراین، ما گرمکنهای خود را با استفاده از لولههای هالوژنی با چگالی بالا ساختیم؛ این لولهها حرارت یکنواخت و قابل پیشبینی را در همان جایی که فرآیند نیاز دارد، تأمین میکنند.
توان، ولتاژ و فضای موجود
این گرمکنها برای فضاهای کوچک طراحی شدهاند؛ آنها با ولتاژ و چگالی بالا کار میکنند تا بتوانند در فضای کوچکی قرار بگیرند، بدون اینکه عملکردشان کاهش یابد.
ولتاژ ۴۰۰ ولت، توان لازم را در یک طول کوتاه فراهم میکند؛ مثلاً یک لوله کوارتزی به طول ۳۰۰ میلیمتر.
این انتخاب ولتاژ، جریان الکتریکی را کاهش میدهد؛ بنابراین نیازی به سیمهای بزرگ نیست، و بلوکهای اتصال نیز خنکتر میمانند.
در توان ۲۵۰۰ وات، این گرمکنها میتوانند به سرعت حرارت لازم را تأمین کنند، و حتی در شرایط بار سنگین نیز، دمای مورد نظر را حفظ کنند.
ابعاد فیزیکی این گرمکنها نیز با تجهیزات استاندارد لیتوگرافی سازگار است؛ بنابراین میتوان آنها را به راحتی جایگزین تجهیزات موجود کرد.
مواد مورد استفاده برای عملکرد صحیح
در داخل این گرمکنها، یک عنصر هالوژنی با طول موج کوتاه وجود دارد؛ این عنصر در یک لوله کوارتزی با خلوص بالا قرار دارد.
کوارتز میتواند شوکهای حرارتی را به خوبی تحمل کند و تولید حرارت را یکنواخت نگه دارد. چرخه هالوژن نیز باعث میشود که رشته الکتریکی در طول زمان پایدار بماند؛ بنابراین پروفایلهای حرارتی نیز یکنواخت باقی میمانند.
این لولهها از کانکتور R7s استفاده میکنند؛ این کانکتورها اتصال قوی دارند، میتوانند شوکهای حرارتی را تحمل کنند، و تعویض لامپ در زمان تعمیرات را آسان میکنند.
ما این گرمکنها را در دماهای بالا و با سرعت زیاد استفاده میکنیم؛ بنابراین سوکتها و سیمها نیز برای کار در دماهای بالا طراحی شدهاند.
عملکرد در صنعت
در کارخانههای تولید، فرآیند پخت نرم باید به سرعت و به طور یکنواخت انجام شود؛ تا فوتورزیست قبل از قرار گرفتن در معرض نور، التیام یابد.
گرمکنهای ما این کار را با ایجاد یک میدان حرارتی یکنواخت و کنترل دقیق، انجام میدهند.
ابعاد کوچک این گرمکنها، امکان ادغام آنها در سیستمهای موجود را فراهم میکند.
اما یک معایب وجود دارد؛ چون حرارت بسیار زیاد است، سیستمهای خنککننده و جریان هوا باید به خوبی تنظیم شوند تا دمای اطراف لامپ در محدوده مناسبی باقی بماند.
ما به این سیستم اعتماد داریم؛ چون میتواند دمای مورد نظر را در طول چرخههای متوالی حفظ کند.
اگر میخواهید آنرا در خط تولید خود آزمایش کنید، ما مشخصات فنی آن را در اختیار شما میگذاریم تا اعداد خودشان تصمیم بگیرند.