در کارخانههای تولید، تغییرات دمایی به آرامی باعث کاهش کیفیت محصولات میشوند. وجود نقاط داغی با دمای ۰.۵ درجه سانتیگراد روی ویفر در حین فرآیند پختن فوتورزیست، یا عملکرد ضعیف لامپهای مورد استفاده در فرآیند تبخیر، باعث میشود فرآیندی که باید قابل تکرار باشد، به چیزی نامطمئن تبدیل شود. ما لامپ گرمایشی Evatec را طراحی کردهایم تا این عوامل نامطمئن را از بین ببرد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟
این لامپ از یک منبع تابشی هالوژنی با امواج کوتاه درون یک پوشش کوارتزی استفاده میکند؛ بنابراین گرمای تابشی سریع و مستقیمی تولید میشود. در سطح ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، پایداری دما از مرحله پختن نرم تا پختن شدید نیز حفظ میشود. این دستگاه بدون هیچ مشکلی کار میکند؛ بنابراین تعداد ذرات موجود در اتاقهای پاکسازی در سطح ۱ تا ۱۰۰ باقی میماند. این دستگاه ۲۴ ساعته بدون هیچ وقفهای کار میکند؛ همچنین، خروجی آن در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، کمتر از ۵ درصد کاهش مییابد.
چرا این دستگاه در عمل مؤثر است؟
چه در فرآیند خشک کردن ویفرها پس از پاکسازی، چه در فرآیند پختن فوتورزیست، چه در فرآیند تثبیت مواد در بستهبندی، یا در فرآیند شستشو و خشک کردن نهایی، کنترل دما بسیار مهم است. یکنواختی دما باعث کاهش نقصهای سطحی، کاهش کارهای تکراری، و کنترل بهتر ابعاد مهم در فرآیند لیتوگرافی میشود. پاسخ سریع لامپ، زمان انجام فرآیندها را کاهش میدهد؛ همچنین، خروجی پایدار لامپ، موجب کاهش مواد اضافی و افزایش طول عمر لامپ میشود؛ در نتیجه، نیاز به تعویض لامپ کمتر میشود و مصرف انرژی نیز کاهش مییابد.
چه چیزهایی باید بدانید؟
برای نصب این دستگاه، باید رابطهای اتصال دستگاه را مطابقت داد و مطمئن شد که خطوط بازتابنده لامپ با دریچههای اتاق هماهنگ باشند. تنظیمات خروجی لامپ بر اساس نرخهای تبخیر مشخصی انجام میشود؛ بنابراین، تعویض لامپ در دستگاههای مختلف نیازمند تنظیم مجدد پارامترهای دستگاه است. پس از تعویض لامپ، باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا یکنواختی دما تأیید شود.