Verhindern Sie, dass ausgefallene Stopplampen Ihre Produktivität ruinieren
In einer stark frequentierten Halbleiterfabrik ist bereits das Ausfallen einer Lampe ein Problem. Doch es wird noch schlimmer, wenn die Quarzkapsel der Lampe tatsächlich zerbricht. In diesem Fall fallen Wolframfragmente sowie Glassplitter direkt auf die Wafer. Das ist ein echter Albtraum – man muss nicht nur mit Produktionsausfällen rechnen, sondern auch mit sekundären Kontaminationen, die die gesamte Produktion ruinieren können.
Die einfachste Lösung dazu ist es, einen zusätzlichen Quarzschild zwischen die Infrarotlampe und die Werkstücke zu platzieren.
Warum Quarz?
Wir verwenden hochreinen geschliffenen Quarz – schließlich muss dieser Material hohe Temperaturen standhalten können. Diese Lampen arbeiten mit sehr hohen Leistungen, und die entstehende Wärme ist enorm. Man braucht also ein Material, das Hitzebelastungen aushalten kann, ohne zu zerbrechen. Wenn man billigeres Glas verwendet, wird der Schild die Wärme aufnehmen, bis er überhitzt und zerbricht. Dann ist man wieder am Anfang. Hochreiner Quarz lässt das Kurzwellige Infrarotlicht ungehindert durchdringen, ohne zu viel Wärme aufzunehmen.
Die richtige Positionierung
Betrachten Sie den Schild als eine Art „Sicherheitsnetz“. Falls die Hauptlampe ausfällt, fängt der Schild alle Trümmer auf, bevor diese die Wafer erreichen können.
Aber es gibt ein Problem: Der Abstand zwischen der Lampe und dem Schild ist wichtig. Wir stellen sicher, dass genügend Abstand vorhanden ist. Wenn die Lampe und der Schild zusammenstoßen, entstehen heiße Stellen, und alles versagt viel früher, als es sollte.
Prüfen Sie außerdem die Befestigungsclips. Sie müssen fest sitzen. Wenn es Vibrationen gibt, die dazu führen, dass die Lampe gegen den Schild stößt, entsteht ein Spannungspunkt, der zum Zerbrechen führen kann.
Der Kompromiss
Nichts ist perfekt. Durch den Einsatz eines Schildes wird ein kleiner Teil der abgestrahlten Wärme reflektiert oder absorbiert, bevor sie die Wafer erreicht. Dadurch entsteht eine leichte Abnahme der Temperatur. Um dies auszugleichen und den Prozess aufrechtzuerhalten, muss man möglicherweise die Leistung des Controllers erhöhen oder die Wafer etwas länger in der Wärme belassen.
Es handelt sich dabei um einen kleinen Preis. Es ist viel einfacher, die Leistung einzustellen, als zu erklären, warum eine ganze Charge an Wafern kontaminiert wurde.