Wie man die Wafer sauber hält: Die Wahrheit über ozonfreie Infrarotlampen
In einer Produktionsumgebung mit hohem Output ist ein Ausfall der Lampen ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandzeiten – wenn eine Quarztube über einem Siliziumwafer zerbricht, entstehen überall Glassplitter und chemische Rückstände. Das ist eine echte Katastrophe, die den Ertrag sofort zerstört.
Wir haben unsere ozonfreien Infrarotlampen speziell dafür entwickelt, dass so etwas nicht passiert.
Das Problem mit Ozon
Die meisten herkömmlichen Kurzwellen-Infrarotlampen emittieren Strahlung im Bereich von 185 nm bis 254 nm. Das Problem ist, dass diese Strahlen mit Sauerstoff reagieren und Ozon erzeugen. In einer Reinräumumgebung ist Ozon ein äußerst schädliches Element.
Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir gedoppte Fasern sowie speziellen Quarz. Dadurch wird das Lichtspektrum so verändert, dass die Wellenlängen, die Ozon erzeugen, gar nicht mehr vorhanden sind. Man erhält weiterhin genügend Wärme für die Aushärtung der Materialien – ohne die schädlichen Nebeneffekte.
Verhindern von Brüchen
Die meisten Quarztuben brechen aufgrund von thermischen Schocks – sie können den plötzlichen Wechsel zwischen Kälte und Hitze einfach nicht verkraften.
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz. Dieser hat eine sehr geringe Ausdehnungsrate, sodass er auch bei häufigen Schaltvorgängen nicht zerbricht. Doch damit haben wir noch nicht genug getan. Wir haben außerdem einen Schutzüberzug hinzugefügt, der wie ein „Sicherheitsnetz“ fungiert. Falls der Quarz dennoch zerbricht, hält der Überzug alles zusammen und verhindert, dass Scherben auf die Wafer fallen.
Ein Wort zur Wärmeentwicklung
Wenn man viel Leistung durch einen kleinen Raum leitet, spüren das die Lampenhalter. Unsere Lampen sind zwar für hohe Belastungen konzipiert, doch man muss sicherstellen, dass die Kühlsysteme mitkommen können. Wenn die Luftzufuhr zu schwach ist, überhitzen die Endkappen und die Dichtungen versagen. Es handelt sich dabei um ein einfaches physikalisches Problem – doch genau hier machen viele Menschen Fehler.
Durch die besondere Auswahl des Quarzes sowie durch die optimierte Konstruktion der Lampen konnten wir die Entstehung von Partikeln minimieren. Dadurch bleiben die Lampen auch bei hoher Belastung intakt.