In der Fertigungshalle ist das Erhitzen des Fotolacks keine bloße Empfehlung – es handelt sich dabei um eine Notwendigkeit. Eine Abweichung von nur einem halben Grad beim Weichbrennen hat direkte Auswirkungen auf die Kontrolle der kritischen Abmessungen. Ein Hotspot beim Hartbrennen führt wiederum zu Problemen wie Verunreinigungen und einer reduzierten Qualität des Produkts. Man braucht also eine Ofenlampe, deren Leistung von Schicht zu Schicht konstant bleibt – mit einer zuverlässigen Wärmeabgabe.
Was wirklich wichtig ist Wir haben diese Laborofenlampe so entwickelt, dass sie den Anforderungen der internationalen Standards für Halbleiterausrüstung entspricht. Kurzwellige Infrarotstrahler, die in Quarz eingeschlossen sind, sorgen für eine schnelle Reaktion sowie eine präzise Steuerung des Spektrums. Das Ergebnis ist eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche von ±0,1°C sowie eine Wiederholgenauigkeit von besser als ±0,3°C über 5.000 Stunden hinweg. Die Leistung bleibt stabil – mit weniger als 5% Abweichung in Bezug auf Lumen und Energie. So bleibt das thermische Gleichgewicht gewährleistet.
Die Konstruktion der Lampe ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Dabei werden Materialien mit geringer Gasemission verwendet, und der Herstellungsprozess sorgt dafür, dass Partikel vermieden werden. Während des thermischen Zyklus entstehen keine Partikel – vielmehr bleibt der Prozessbereich sauber.
Warum das für die Brennprozesse wichtig ist Diese Lampe ist speziell für den Umgang mit Fotolack entwickelt – für Weichbrennen, Hartbrennen sowie nach der Bestrahlung. In diesen Schritten hat die Temperaturregenauigkeit direkten Einfluss auf die Gleichmäßigkeit der Strukturen auf dem Wafer sowie auf die Rauheit der Kanten. Dadurch erhalten Sie zuverlässige Ergebnisse, weniger Reparaturen und Profile, die bei verschiedenen Geräten konsistent sind.
Das schnelle Erreichen des Zielwertes reduziert die Zeiten, in denen das Gerät ungenutzt bleibt – dadurch sinkt auch der Energieverbrauch pro Wafer. Die Zuverlässigkeit der Lampe ist so gestaltet, dass sie 24/7 betrieben werden kann – somit müssen Sie keine unplanmäßigen Stillstände in Kauf nehmen oder Lampen während kritischer Lithografieprozesse austauschen.
Praktische Details, die beachtet werden sollten Bei der Installation muss die Anschlussbuchse des Geräts berücksichtigt werden, außerdem muss die Spannung sowie die thermische Belastbarkeit des Ofens überprüft werden. Es handelt sich dabei um eine Hochleistungs-Lampe – daher müssen Schutzmaßnahmen sowie Sicherheitsvorkehrungen gewährleistet werden, um Mitarbeiter und die Ausrüstung zu schützen.
Unmittelbar nach der Installation sollte eine kurze Einlaufzeit sowie eine Temperaturmessung durchgeführt werden. Dadurch können die Einstellungen an die spezifischen Geometriebedingungen des Ofens angepasst werden.