In der Fertigungsstätte führt die thermische Drift dazu, dass die Qualität der Produkte nachlässt. Ein Temperaturunterschied von 0,5 °C auf der Wafer-Oberfläche während des Trocknungsprozesses oder eine Lampe, die bei der Verdampfung versagt, verwandeln einen eigentlich reproduzierbaren Prozess in etwas Unvorhersehbares. Wir haben den Evatec-Verdampflungslampe entwickelt, um diese Unsicherheiten zu beseitigen.
Was technisch wichtig ist: Die Lampe verwendet einen Kurzwellenhalogenstrahler innerhalb eines Quarzkörpers – dadurch entsteht eine schnelle, direkte Strahlungswärme mit einer Reaktionszeit von unter einer Sekunde. In der aktiven Zone bleibt die Temperaturkonstanz bei ±0,1 °C. Die Temperaturgenauigkeit bleibt auch während des gesamten Prozesses konstant. Dadurch entstehen keine Störungen, und die Reinraumqualität bleibt auf dem gewünschten Niveau. Die Lampe funktioniert 24/7 ohne Ausfälle, und ihre Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant – es kommt zu weniger als 5 % Leistungsverlust.
Warum das in der Praxis funktioniert: Egal ob es darum geht, Wafer nach der Reinigung zu trocknen, den Photoresist unter kontrollierten Bedingungen zu behandeln, Kapselmaterialien zu härten oder die Wafer abschließend zu spülen und zu trocknen – die Temperaturkontrolle bleibt dabei stets konstant. Eine hohe Konstanz bedeutet weniger Fehler an den Rändern der Wafer, weniger Nacharbeiten und eine bessere Kontrolle der kritischen Abmessungen bei der Lithografie. Die schnelle Reaktionszeit verkürzt die Bearbeitungszeit, während die stabile Leistung dazu beiträgt, Abfall zu reduzieren und die Lebensdauer der Lampe zu verlängern – weniger Ersatzteile und weniger Energieverbrauch pro Wafer.
Was Sie wissen müssen: Beim Einbau muss die Anschlussform der Lampe passen, und die Geometrie des Reflektors muss mit der Öffnung der Kammer übereinstimmen. Die Leistungsstärke der Lampe wird auf bestimmte Verdampfungsraten abgestimmt. Wenn man die Lampen zwischen verschiedenen Maschinen austauscht, ist eine schnelle Neukalibrierung der Einstellungen notwendig. Nach dem Austausch sollte eine kurze Erprobungsphase sowie eine Überprüfung der Temperaturkonstanz durchgeführt werden, um sicherzustellen, dass die gewünschte Konstanz erreicht wird.