Auf der Lithografieanlage reicht bereits eine Abweichung von 2 °C bei der Erhitzung des Fotoleitmittels aus, um die kritischen Abmessungen um mehrere Nanometer zu verändern – dadurch werden viele Wafer unbrauchbar. Die Infrarotheizlampe R7s ist so konstruiert, dass die Wärme nur innerhalb des gewünschten Bereichs verteilt wird – und nicht überall sonst.
Was wirklich wichtig ist
Die R7s sendet Kurzwellen-Infrarotstrahlen auf das Fotoleitmittel sowie den Substrat – dadurch wird die Wärme direkt übertragen. Der Zielwert wird schnell erreicht und bleibt stabil. Auf der gesamten Oberfläche der Wafer sollte die Temperaturkonstanz bei ±0,1 °C liegen. Dadurch können wiederholbare Ergebnisse erzielt werden – batch für batch.
Das Quarzkörper sowie die Anordnung der Inneren Fasern sind so gestaltet, dass es zu keiner Ausbreitung von Partikeln kommt, wenn die Temperatur erhöht wird. In Reinräumen der Klasse 1–100 wird dadurch verhindert, dass die Anzahl der Partikel stark schwankt. Zudem bleibt die Leistung über 5.000 Stunden hinweg stabil – mit weniger als 5 % Abschlag. Das bedeutet, dass die Anlage 24/7 betrieben werden kann, ohne ständige Justierungen.
Warum es sich für den Lithografieprozess eignet
Im Lithografieprozess spielt die Temperatur eine entscheidende Rolle. Zu lange Erhitzung führt dazu, dass Lösungsmittel austreten und die Viskosität ändert sich. Zu kurze Erhitzungszeit wiederum führt dazu, dass an den Rändern der Wafer Tropfen entstehen, was die Qualität beeinträchtigt. Mit der R7s lässt sich die Temperatur sowie die Dauer der Erhitzung präziser steuern – dadurch erhalten Sie immer wieder identische Ergebnisse, batch für batch.
Diese Wiederholgenauigkeit reduziert die Notwendigkeit zur Nacharbeit, erhöht die Ausbeute und verkürzt die Verarbeitungszeit. Zudem wird weniger Energie verbraucht, da die Reaktion schnell erfolgt und die Verluste gering sind. Die lange Lebensdauer bedeutet außerdem weniger Störungen und weniger Stillstand der Anlage.
Was man beachten sollte
Die R7s ist für Standard-Sockel konzipiert – doch auch der Halter muss passen. Die Geometrie des Reflektors sowie der Luftstrom müssen mit dem thermischen Profil der Lampe übereinstimmen, damit eine Temperaturkonstanz von ±0,1 °C erreicht wird. Es gibt eine kurze Aufwärmzeit, bevor der Zielwert erreicht wird – daher sollte die Anlage entsprechend dem Zeitplan des Coaters/Track Controllers eingestellt werden.
Für die beste Ergebnisse sollte die Lampe mit einem kalibrierten Temperatursensor sowie einem Controller kombiniert werden, der Schwankungen der Netzspannung ausgleichen kann.