Lithografie Weichbrennheizelement
Warum ein Heizer für den Soft-Bake speziell dafür entwickelt werden muss
Wir fertigen Heizelemente für den Soft-Bake-Prozess in der Lithografie –...
Lampe zur Aushärtung des Photoretiners für die Erzielung von Gleichmäßigkeit
Im Bereich der Lithografie entsteht das Profil des Fotolacks durch den weichen sowie den harten Trocknungsprozess. Wenn die Trocknung nicht...
Tief UV (DUV) Resistbacklampe
Auf dem Lithographieboden kennen Sie das Prozedere: ein Backen, das auch nur um ein halbes Grad abweicht, bringt die CD-Kontrolle aus dem...