Warum ein Heizer für den Soft-Bake speziell dafür entwickelt werden muss
Wir fertigen Heizelemente für den Soft-Bake-Prozess in der Lithografie – insbesondere für die Anfangsphase der Waferherstellung. Der Zweck ist einfach: Die Wärme muss genau dort entstehen, wo sie benötigt wird, während das Photoresist aushärtet.
Denn eine Abweichung von nur einem Grad kann dazu führen, dass eine ganze Charge ruiniert wird. Deshalb haben wir unsere Heizer so konstruiert, dass sie aus Hochleistungs-Halogenröhren bestehen. Diese liefern eine konstante, wiederholbare Wärme genau dort, wo sie benötigt wird – und nirgendwo sonst.
Leistung, Spannung und Platzbedarf
Diese Heizer sind für enge Räume konzipiert. Sie arbeiten mit hoher Spannung und hoher Leistungsdichte, sodass sie in kleinen Abmessungen untergebracht werden können, ohne an Leistung einzubüßen.
Eine Eingangsspannung von 400 V ermöglicht es, die benötigte Leistung in kompakten Abmessungen zu erzeugen – man denke an eine Quarzröhre mit einer Länge von 300 mm. Dadurch sinkt der Stromverbrauch, was bedeutet, dass keine großen Leiterbahnen erforderlich sind. Zudem bleibt der Steckkasten kühler.
Mit 2500 W erreicht man eine schnelle Erhitzung sowie die notwendige Stabilität, um auch unter Belastung den gewünschten Temperaturwert zu halten.
Die physischen Abmessungen entsprechen denen der standardmäßigen Lithografieausrüstung – somit kann der Heizer direkt eingebaut werden.
Die Materialien, die dafür sorgen, dass alles funktioniert
Im Inneren befindet sich ein Kurzwellen-Halogenelement, das in einer hochreinen Quarzröhre untergebracht ist. Quarz kann thermische Schocks gut verkraften und sorgt dafür, dass die Strahlungsleistung konstant bleibt. Der Halogenzyklus hält den Faden stabil, sodass die Temperaturprofile konstant bleiben.
Die Röhre verfügt über einen R7s-Anschluss – ein Doppelkontaktdesign, das eine stabile Verbindung gewährleistet, thermischen Belastungen standhält und den Austausch der Lampe während der Wartung erleichtert.
Wir betreiben diese Heizer bei hohen Temperaturen – daher sind die Steckdosen und Verbindungsleitungen dafür ausgelegt, kontinuierlich hohe Temperaturen zu ertragen.
Wie es in der Praxis aussieht
In der Produktion muss der Soft-Bake-Prozess schnell und gleichmäßig ablaufen, damit das Photoresist vor der Belichtung aushärtet. Unser Heizer liefert genau das durch sein dichtes Strahlungsfeld sowie präzise Kontrolle.
Die kompakten Abmessungen machen es einfach, ihn in bestehende Beschichtungs-/Erhitzungsanlagen einzubauen. Doch es gibt einen Kompromiss: Da die Wärme so intensiv ist, müssen Kühlungssysteme sowie Lüftungsanlagen richtig eingestellt werden, damit die Umgebungstemperatur um die Lampe herum konstant bleibt.
Wir vertrauen auf dieses System, denn es hält den gewünschten Temperaturwert auch bei wiederholten Betriebszyklen. Es funktioniert auch dann noch einwandfrei, wenn viel Druck auf die Anlage ausgeübt wird.
Falls Sie es gerne direkt in Ihrer Anlage testen möchten, bringen wir Ihnen die Spezifikationen – dann können die Zahlen für sich selbst sprechen.