Verhindern Sie, dass Ihre Infrarotlampen Ihre Wafer zerstören
Hohe Produktionszyklen sind eine große Belastung für Infrarotheizlampen. Sie werden dabei stark beansprucht.
Wenn eine Lampe schließlich versagt – oder noch schlimmer: innerhalb der Heizkammer explodiert – ist das ein Albtraum. Überall liegen Quarzsplitter und Filamentreste herum. Das ruiniert nicht nur die Wafer, an denen man arbeitet, sondern vermasselt auch den gesamten Arbeitstag – man muss schließlich die ganze Anlage stilllegen, um das Chaos zu beseitigen.
Umgehen mit den „Explosionen“
Der eigentliche Feind hier ist der thermische Schock. Wenn das Quarzgehäuse kleine Unreinheiten aufweist oder die Wände nicht perfekt gleichmäßig sind, führt die Hitze dazu, dass das Glas ungleichmäßig expandiert. Dadurch entstehen Risse.
Wir verwenden daher hochreines synthetisches Quarz. Es dehnt sich gleichmäßig aus, sodass es schnelle Zyklen ohne Beschädigung überstehen kann.
Aber seien wir ehrlich: Es passieren trotzdem Schäden. Deshalb verwenden wir einen Schutzschlauch um die Lampe. Stellen Sie sich das wie ein Sicherheitsnetz vor – falls die Innenseite der Lampe explodiert, bleiben die Fragmente im Schlauch gefangen. So bleibt Ihr Silizium sauber, und Sie müssen nicht in Panik geraten.
Für Langzeitnutzung
Um Stabilität zu gewährleisten, verwenden wir Filamente mit Halogenstruktur. Dadurch verdunstet kein Wolfram, und die Innenwände bleiben klar. Dadurch bleibt die Wärmeabgabe über Tausende von Stunden hinweg konstant. Wir verwenden außerdem verstärkte Endkappen. Falls Gas entweicht, geht die Lampe früher kaputt – ganz einfach.
Ein kleiner Tipp: Seien Sie vorsichtig mit der Stromversorgung. Es ist verlockend, die Lampe mit zu hohem Strom zu betreiben, um eine schnellere Erwärmung zu erreichen – doch das ist riskant. Dadurch wird das Filament viel schneller abgenutzt, und eine Katastrophe wird wahrscheinlicher.
Der Kompromiss
Der Nachteil ist, dass der Schutzschlauch etwas von der Infrarotstrahlung blockiert. Dadurch geht eine geringe Menge an direkter Wärme verloren.
Das ist zwar kein Problem, aber Sie müssen einige Einstellungen anpassen. Vielleicht sollten Sie die Leistung der Lampe erhöhen oder den Heizer etwas näher an die Wafer bringen. Stellen Sie sicher, dass die Kühlfans mit der zusätzlichen Wärme zurechtkommen – sonst besteht die Gefahr, dass der Rahmen verformt wird.