Sicherstellen der Sicherheit bei der Trocknung von MEMS-Wafern
Die Realität ist folgende: Die Trocknung von MEMS-Sensorwafern nach einer chemischen Reinigung gleicht dem Umgang mit Feuer. Es handelt sich dabei um Heizelemente, die direkt neben brennbaren, explosiven Dämpfen befinden. Wenn man versucht, dazu eine Standard-Infrarotlampe zu verwenden, sucht man sich selbst Probleme.
Deshalb konstruieren wir unsere Infrarotheizungen anders. Wir umhüllen sie mit einer speziellen Hülle, die verhindert, dass Chemikalien das Heizelement schädigen – und vor allem, dass etwas in Brand gerät.
Das Geheimnis liegt in der Abdichtung.
Wir verwenden hermetisch abgedichtete Quarzhüllen sowie Beschichtungen, die auch unter Einfluss harter Chemikalien stabil bleiben. Der Zweck ist es, die elektrischen Kontakte vollständig vom Luftstrom zu isolieren. An den Anschlusspunkten verwenden wir hochwertige Epoxid- oder Glas-zu-Metall-Dichtungen, damit diese flüchtigen organischen Verbindungen nicht in die Lampenhülle eindringen können.
Stellen Sie sich vor: Wenn die Abdichtung versagt und das Heizelement ausbrennt, könnte diese kleine Funke einen Brand auslösen. Wir haben den Abdichtungsprozess so gestaltet, dass das niemals passiert.
Gleichgewicht zwischen Hitze und Sicherheit
Diese Heizgeräte strahlen hocheffektive Kurzwellenenergie ab, um die Wafer schnell zu trocknen – ohne das Substrat zu beschädigen. Es geht dabei um ein feines Gleichgewicht. Wir justieren die Leistung so, dass die Oberflächentemperatur sicher unter dem Flammenpunkt der Chemikaldämpfe bleibt.
So erhalten Sie die gewünschte schnelle Verdunstung – doch Sie müssen auf den Luftstrom achten. Diese Lampen werden sehr heiß. Wenn das Lüftungssystem langsamer wird, sammelt sich Wärme im Inneren der Kammer – und das wird dann gefährlich.
Keine Probleme bei der Wartung
Wir wollten nicht, dass Sie stundenlang an Reparaturen arbeiten müssen. Deshalb haben wir diese Geräte als „Ersatzteile“ konzipiert.
Die Verkabelung ist für gefährliche Bereiche geeignet – sie nutzt verstärkte Isolierungen, die nach mehreren hundert Wärmzyklen nicht brechen oder abblättern. Zudem haben wir die schwachen Stecker durch solide, vibrationsfeste Verbindungen ersetzt. Dadurch wird das Risiko von elektrischen Entladungen auf Null reduziert. Wenn es Zeit für einen Austausch ist, wechseln Sie einfach die Lampe aus, ziehen die Befestigungen fest – und alles funktioniert wieder. Keine komplizierte Umrüstung, keine Probleme.