
Proč zlatě pokryté infračervené lampy v laboratoři převyšují horkovzdušné systémy
Pokud jste někdy použili horkovzdušný systém, víte, jak to funguje. Zahříváte vzduch a poté čekáte, až tento vzduch ohřeje vaši součástku. Je to pomalé. V oblasti zpracování polovodičů je toto čekání v podstatě plýtváním penězi.
Proto jsme se obrátili k dvoutrubkovým infračerveným lampám s zlatým povlakem. Místo toho, abychom spoléhali na vzduch, tyto lampy vysílají energii přímo do substrátu. Žádný prostředník – pouze přímé zahřívání.
Tajemství spočívá ve zlatě.
Standardní kvartové trubice jsou sice v pořádku, ale umožňují velké množství energie uniknout nebo se zbytečně rozptylovat. Díky zlatému povlaku se lampa stává v podstatě vysoce efektivním zrcadlem. Energie je tak posílána přímo na pracovní plochu, místo aby se ztrácela uvnitř trubice.
Další výhodou je dvoutrubková konstrukce. Dvojnásobná plocha vlákna bez zvětšení velikosti topné jednotky umožňuje využít mnohem větší množství energie. To znamená, že dosáhnete požadovaných teplot během sekund – ne minut.
Přestaňte zahřívat celou místnost, začněte zahřívat samotnou destičku.
Vzhledem k horkovzdušné troubě musíte čekat, až se celá komora dostane na stejnou teplotu. Je to otravné.
U zlatě pokrytých infračervených lamp je nárůst teploty téměř okamžitý. Nehazardujete energií na vzduch – energii vkládáte přímo do křemíkové nebo GaAs destičky. Čas cyklu se zkracuje a produktivita roste.
Kromě toho krátkovlnné infračervené záření proniká hlouběji do materiálu. Nemusíte se potýkat s problémem „kožního efektu“, kdy je povrch rozpálený, ale jádro stále chladné. To je obrovská výhoda při odstraňování vad během procesů zpracování.
Nevýhody (protože vždycky nějaké jsou).
Všechna ta tepelná hustota zvyšuje zátěž napájecích zdrojů. Pokud instalujete vysokovýkonový dvoutrubkový systém, musíte se ujistit, že vaše elektrické panely dokážou zvládnout počáteční nápor proudu.
Také nelze ignorovat otázku chlazení. Budete potřebovat ventilátory, které dokážou odvést teplo od konců lampy – jinak pravděpodobně shoří vaše utěsnění.
Je to trochu kompromis. Získáte opravdu vysokou rychlost, ale musíte být mnohem přesnější při řízení teplotních zón. Stojí to za to? Rozhodně.