V provozu výroby není pečení fotorezistu otázkou volby – je to nutnost. I malá odchylka o půl stupně při měkkém pečení má za následek problémy s kontrolou kritických rozměrů. A co teplé body při tvrdém pečení? To zase způsobuje poškození povrchu destiček a snižuje jejich kvalitu. Potřebujete tedy pecovou lampu, která bude vykonávat svou funkci stabilně, šichtu za šichtou, s teplem, na které se dá spolehnout.
Co je opravdu důležité Tuto laboratorní pecovou lampu jsme navrhli tak, aby splňovala stejné standardy jako mezinárodní specifikace pro polovodičové zařízení, která má nahradit. Vysokoenergetičtí emitory v infračerveném spektru, uložení v kvartzu, zajišťují rychlou reakci a přesnou kontrolu spektra. Výsledkem je termická jednotnost na úrovni destiček v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost je lepší než ±0,3 °C po dobu více než 5 000 hodin. Výstupní hodnoty zůstávají stabilní – odchylka v luminanci a energii je menší než 5 %, takže vaše termické parametry nekolísají.
Sestavení lampy je vhodné pro použití v čistých prostorách třídy 1–100 – používají se materiály s nízkou emisí plynů a procesy, které minimalizují tvorbu částic. Během termálních cyklů nevznikají žádné částice – prostě se udržuje čistota procesu.
Proč je to důležité pro proces pečení Tato lampa je optimalizována pro zpracování fotorezistu – měkké pečení, tvrdé pečení a pečení po expozici. V těchto fázích má přesnost teploty přímý vliv na jednotnost rozměrů a hladkost okrajů linie. Díky tomu dostanete spolehlivé výsledky, méně potřeby oprav a profily pečení, které fungují stejně v různých zařízeních.
Rychlé dosažení požadované teploty snižuje dobu nečinnosti, čímž se snižuje spotřeba energie na jednu destičku. Spolehlivost lampy je navržena pro nepřetržitou činnost 24/7, takže se nemusíte obávat neplánovaných výpadků nebo výměny lamp v průběhu kritických litografovacích procesů.
Praktické detaily, na které je potřeba si dát pozor Instalace spočívá v odpovídajícím spojení s konektorem zařízení a ověření napětí a tepelné kapacity pece. Jedná se o lampu s vysokou intenzitou, proto je potřeba zajistit její ochranu a správné fungování – to chrání operátory i zařízení.
Hned po instalaci je potřeba provést krátké kalibraci a měření teploty. Tím se nastaví požadované hodnoty podle konkrétní geometrie pece a profily se uloží.