Udržování čistoty waferů, když selžou vysokonákladové IR lampy Buďme upřímní: ve zařízeních s vysokým zatížením je selhání lampy noční můrou. Nejde...

V prostorách výroby probíhá proces litografie vlastním tempem – nelze přerušit jeho průběh. Pokud dojde ke změnám teploty během zahřívání...