V prostorách výroby probíhá proces litografie vlastním tempem – nelze přerušit jeho průběh. Pokud dojde ke změnám teploty během zahřívání fotorezistu, musíte okamžitě bojovat s problémy spojenými s změnami rozměrů výrobku, což negativně ovlivňuje kvalitu výrobku. Potřebujete tedy teplo, které zůstane konstantní, je homogenní po celé ploše čipu a opakuje se pokaždé, když čip prochází danou stupnicí zpracování.
Co je technicky důležité
Používáme ohřívače na bázi infrakrátkých vln, které poskytují přesné teplo tam, kde ho fotorezistent potřebuje. Přes celou plochu čipu je teplota udržována v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost hodnoty teploty je ±0,2 °C. Každá série výrobků tak prochází stejným procesem zpracování. Konstrukce emitorů na bázi křemíku zajišťuje nulovou tvorbu částic a zároveň umožňuje použití v prostředích s úrovní čistoty 1–100. Řízení s uzavřenou smyčkou a senzorem třídy A zajišťuje, že nadměrný nárůst teploty nepřesáhne 0,5 °C – čímž se chrání citlivé součásti čipu a zároveň se proces rychle stabilizuje.
Proč to funguje v průběhu výroby
V režimu 7×24 hodin za denního světla zůstává zařízení v provozu bez plánovaných přestávek. Zaznamenali jsme nulovou míru poruch během kontinuálního provozu. Údaje z provozu ukazují, že zařízení může fungovat až 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %. Teplotní odchylky zůstávají pod 0,1 °C za 1000 hodin. To znamená lepší kontrolu rozměrů výrobku, méně odpadních čipů a možnost plánování údržby. Rychlé nabíjení teploty snižuje dobu zpracování, aniž by došlo ke ztrátě kontroly nad profilem teploty – čímž se zvyšuje produktivita při zachování nízké spotřeby energie.
Praktické detaily
Pro instalaci je potřeba speciální napájecí zdroj s regulací a vhodné odhlučnění, aby kontrolní systém zůstal funkční. Ohřívač se vejde do standardních zařízení výrobce, ale tepelný rozhraní musí být správně nastaveno – špatné zarovnání způsobí mikronerovnoměrnosti. Plánujte krátký testovací období na nastavení parametrů procesu; jakmile to uděláte, proces zůstane stabilní i v dalších směnách.