V prostředí výroby postupně snižuje kvalitu výrobku tepelná drift. Například teplotní rozdíl 0,5 °C na povrchu čipu během zahřívání fotorezistorů, nebo lampa, která selhává během procesu odpařování, mohou přeměnit proces, který by měl být opakovatelný, na něco nepředvídatelného. Vytvořili jsme ohřevací lampu Evatec, která odstraní tuto nejistotu.
Co je z hlediska technické stránky důležité
Lampa využívá halogenový zdroj krátkých vln v quartzovém obalu, díky čemuž poskytuje rychlé, přímé záření s reakcí během několika sekund. Na celé aktivní ploše čipu zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, a to i během celého procesu zahřívání. Konstrukce lampy nezpůsobuje žádné problémy spojené s částicemi, takže počet částic v čistém prostředí zůstává na požadované úrovni. Lampa funguje 24/7 bez plánovaných výpadků, a její výkon zůstává konstantní po dobu více než 5 000 hodin – s poklesem menším než 5 %.
Proč to v praxi funguje
Ať už sušíte čipy po čištění, zahříváte fotorezistory podle specifického profilu, zahušťujete materiály používané k balení, nebo provádíte konečné oplachování a sušení, tepelná rovnováha zůstává zachována. Vysoká rovnoměrnost teploty znamená méně vad na okrajích čipů, méně oprav a lepší kontrolu kritických rozměrů při litografii. Rychlá reakce lampy zkracuje dobu provozu, zatímco stabilní výkon snižuje množství odpadu a prodlužuje životnost lampy – méně výměn a méně energie na jeden čip.
To je to, co potřebujete vědět
Při instalaci je nutné zajistit soulad rozhraní konektorů zařízení a ověřit, že geometrie reflektoru odpovídá velikosti otvoru v komoře. Hustota výstupního záření je nastavena na konkrétní rychlosti odpařování, proto je při výměně lamp mezi různými stroji potřeba rychle přepnout nastavení. Po výměně je potřeba provést krátké testovací období a kontrolu teploty, aby se zajistila rovnoměrnost teploty.