কেন সফ্ট বেকের জন্য বিশেষভাবে ডিজাইন করা হিটার প্রয়োজন?
আমরা লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার জন্য হিটিং এলিমেন্ট তৈরি করি; বিশেষ করে ওয়েফার উৎপাদনের প্রাথমিক ধাপে। এর উদ্দেশ্য খুবই সরল—ফটোরেসিস্ট শুকানোর সময় ঠিক সেই জায়গায়ই তাপ সরবরাহ করা।
কারণ এখানে এক ডিগ্রির ভুলই যথেষ্ট হতে পারে পুরো ব্যাচটিকে নষ্ট করার জন্য।
তাই আমরা উচ্চ-ঘনত্বযুক্ত হ্যালোজেন টিউব ব্যবহার করে হিটার তৈরি করি। এগুলো ঠিক সেই জায়গায়ই ধারাবাহিক ও নির্ভরযোগ্য তাপ সরবরাহ করে।
পাওয়ার, ভোল্টেজ এবং জায়গা
এই হিটারগুলো সীমিত জায়গার জন্যই তৈরি করা হয়েছে। এগুলো উচ্চ ভোল্টেজ ও উচ্চ ঘনত্বে কাজ করে; ফলে ছোট জায়গাতেও এগুলো ব্যবহার করা যায়, আর কার্যকারিতা কমে যায় না।
৪০০ ভোল্ট ইনপুট দিলেই প্রয়োজনীয় ওয়াটজ পাওয়া যায়; অর্থাৎ ৩০০ মিমি দৈর্ঘ্যের কোয়ার্টজ টিউবেই এটা সম্ভব।
এই ভোল্টেজ ব্যবহার করলে কারেন্ট কমে যায়; ফলে বড় আকারের কন্ডাক্টরের প্রয়োজন হয় না, আর টার্মিনাল ব্লকটিও ঠান্ডা থাকে।
২৫০০ ওয়াট ক্ষমতার কারণে দ্রুত তাপ সরবরাহ করা যায়; আর প্রক্রিয়া চলাকালীনও নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় থাকে।
আর আকারের কথা বললে… এগুলো স্ট্যান্ডার্ড লিথোগ্রাফি হার্ডওয়্যারের সাথে মেলে; তাই এগুলো সরাসরি ব্যবহার করা যায়।
কী ধরনের উপাদান ব্যবহৃত হয়েছে?
ভিতরে রয়েছে শর্টওয়েভ হ্যালোজেন এলিমেন্ট; এটা উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ টিউবে রয়েছে।
কোয়ার্টজ তাপীয় ঝাঁকুনি সামলাতে পারে এবং ধারাবাহিক তাপ সরবরাহ করে। হ্যালোজেন এলিমেন্টটি দীর্ঘসময় ধরে স্থিতিশীল থাকে; ফলে বেকিং প্রক্রিয়াটি নিয়মিত থাকে।
টিউবটিতে R7s কানেক্টর ব্যবহৃত হয়েছে—এটা দুটি পিন বিশিষ্ট ডিজাইন; এটা ভালো কন্টাক্ট দেয়, তাপীয় চক্রগুলো সামলাতে পারে, আর রক্ষণাবেক্ষণের সময় ল্যাম্পটি সহজেই পরিবর্তন করা যায়।
আমরা এটাকে উচ্চ তাপমাত্রায় ও দ্রুত চালাই; তাই সকেট ও ওয়্যারিংগুলো কন্টিনিউয়াস উচ্চ-তাপমাত্রা সহ্য করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
ফ্যাক্টরির মাটিতে এটার অবস্থা কেমন?
ফ্যাক্টরিতে সফ্ট বেকিং দ্রুত ও নিয়মিতভাবে হওয়া উচিত; যাতে ফটোরেসিস্টটি এক্সপোজারের আগেই সেট হয়ে যায়।
আমাদের হিটারটি ঘনত্বযুক্ত তাপ সরবরাহ করে এবং নিয়ন্ত্রণও ভালো করে।
ছোট আকারের কারণে এটাকে বিদ্যমান কোটার/বেকিং সিস্টেমে সহজেই ব্যবহার করা যায়।
কিন্তু একটি সমস্যা আছে—কারণ তাপ খুব ঘন, তাই ল্যাম্পটির চারপাশের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করার জন্য ঠিকমতো কুলিং ও এয়ারফ্লো ব্যবস্থা দরকার।
আমরা এই সিস্টেমটি বিশ্বাস করি—কারণ এটা বারবার চালানোর পরেও নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখে।
যদি আপনি আপনার লাইনে এটাকে টেস্ট করতে চান, আমরা স্পেসিফিকেশনগুলো দেব এবং সংখ্যাগুলোই সবকিছু ব্যাখ্যা করবে।