লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়ার মাধ্যমেই ফটোরেসিস্টের গঠন নির্ধারিত হয়। যদি ওয়েফারের উপর এই প্রক্রিয়াগুলো সমানভাবে সম্পন্ন না হয়, তাহলে ওয়েফারের পুরুত্বে পার্থক্য দেখা দেয়। এর ফলে ইটচিং প্রক্রিয়ার পর ওয়েফারের আকারে পরিবর্তন ঘটে; ফলে ওয়েফারটি অকেজো হয়ে যায়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ফটোরেসিস্ট বেক ল্যাম্পটিকে শর্ট-ওয়েভ NIR এমিটার অ্যারের সাথে তৈরি করেছি; এর সাথে কার্বন-ফাইবার-রিইনফোর্সড কোয়ার্টজ উইন্ডোও রয়েছে। এর ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর প্রতিটি চক্রে তাপমাত্রার পুনরাবৃত্তি ±0.5°C এর মধ্যে থাকে। ১৬টি সেন্সর দ্বারা ওয়েফারের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয়; ফলে ফটোরেসিস্ট থেকে দ্রবণটি সঠিকভাবে বেরিয়ে যায়। এই ল্যাম্পটি ২৪/৭ ঘন্টা ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমে কাজ করে; এবং এটি কোনো কণা উৎপন্ন করে না—কারণ ইন-লাইন কাউন্টিং অনুযায়ী কণার সংখ্যা ০.০১/cm²-এর নিচে থাকে।
কেন এই নির্ভুলতা প্রয়োজন?
“সফ্ট বেক” প্রক্রিয়ার মাধ্যমে দ্রবণটি সঠিকভাবে বেরিয়ে যায়; আর “হার্ড বেক” প্রক্রিয়ার মাধ্যমে ফটোরেসিস্টের গঠন নির্ধারিত হয়। ফলে ওয়েফারের প্রস্থ ও পার্শ্বদেয়ালের কোণ সঠিক থাকে।
ইটচিং প্রক্রিয়ায় কী পরিবর্তন দেখা যায়?
ইটচিং প্রক্রিয়ায় উন্নতি দেখা যায়—কম মাইক্রো-লোডিং প্রভাব, কম রিওয়ার্ক, এবং ওয়েফারের সর্বত্র সঠিক কন্ট্রোল। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়—কারণ ল্যাম্পটি কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছে যায় এবং সেখানেই থাকে; ফলে অপ্রয়োজনীয় তাপ নষ্ট হয় না।
ইনস্টলেশন কীভাবে করবেন?
ইনস্টলেশন খুবই সহজ। কিন্তু উইন্ডোটিকে নির্ধারিত তাপমাত্রায় রাখার জন্য ২৪VDC বিদ্যুৎ এবং পরিষ্কার, শুষ্ক বায়ু প্রয়োজন। এটি বেশিরভাগ কোটিং/বেকিং সিস্টেমে ব্যবহার করা যায়; কিন্তু প্রতিটি প্ল্যাটফর্মের জন্য আলাদা অ্যাডাপ্টার ব্যবহার করতে হবে।
সমগ্র বেকিং প্রক্রিয়ার জন্য তাপীয় ব্যবস্থা কীভাবে পরিকল্পনা করবেন?
ল্যাম্পটির কার্যকারিতা চাক ও ওয়েফার স্ট্যাকের তাপীয় গুণাবলীর উপর নির্ভর করে।