লিথোগ্রাফি ফ্লোরে, আপনি জানেন কাজের পদ্ধতি: একটি বেক যা অর্ধ ডিগ্রি পরিবর্তন ঘটায় তা CD নিয়ন্ত্রণকে স্পেসিফিকেশন থেকে বের করে দেয়। আপনি DUV ফটোরেজিস্টকে নরম বেক এবং কঠিন বেকের মধ্য দিয়ে চালান যাতে দ্রাবক বের হয়ে যায় এবং প্রোফাইলটি লক হয়। যদি তাপীয় বাজেট ভুল হয়, তাহলে লাইনগুলি প্রশস্ত হয়ে যায়, এজ রাফনেস বাড়ে, এবং পুরো ব্যাচটি হঠাৎ লাল হয়ে যায়। DUV রেজিস্ট বেক ল্যাম্পটি এই পরিবর্তনশীলতাকে দূরে রাখার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
আসল যে বিষয়টি কাজ করে
আমরা এই ল্যাম্পটি তৈরি করেছি স্বল্প-তরঙ্গ শক্তি সেখানে নির্গত করার জন্য যেখানে DUV রেজিস্ট আসলে এটি শোষণ করে, কুইartz অংশগুলি যা স্পেকট্রামকে স্থিতিশীল রাখে। চুকের মধ্যে, ওয়েফার-স্তরের সামঞ্জস্য ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, তাই ব্যাচের প্রতিটি ওয়েফার একই তাপমাত্রা ইতিহাস দেখতে পায়। ক্লিনরুমের আচরণ কোনও পরবর্তী চিন্তা নয়—Class 1–100 স্পেসে কোনও কণা বাম্প হয় না, এবং গরম অঞ্চলটি সীমাবদ্ধ থাকে যাতে আউটগ্যাসিং রেজিস্টকে দূষিত করতে না পারে। আউটপুট হাজার হাজার বেক সাইকেলের মধ্যে পুনরাবৃত্তি হয়, এবং তাপীয় ভর পরিচালিত হয় যাতে লাইন 24/7 চলার সময় পরিবর্তন না ঘটে।
DUV লিথোগ্রাফিতে কেন এটি টিকে থাকে
ইয়েল্ড আসলে প্রক্রিয়া উইন্ডোতে আসে যা আপনি বাস্তবে ধরে রাখতে পারেন। সংকীর্ণ তাপ নিয়ন্ত্রণ CD বিচ্যুতি কমিয়ে আনে এবং ওভারলে মার্জিনগুলি রক্ষা করে, যার মানে কম স্ক্র্যাপ এবং কম পুনঃকর্ম। লাইন-শেষের সংক্ষিপ্ততা ধারাবাহিক থাকে, এবং এজ রাফনেস কমে যায় কারণ বেক প্রোফাইল ব্যাচের পর ব্যাচ পুনরাবৃত্তি হয়। কার্যকর সংযোগ এবং দ্রুত স্থিতিশীলতা শক্তির ব্যবহারকে নিয়ন্ত্রণে রাখে, এবং নির্ভরযোগ্যতা প্রোফাইল আপনাকে পরিকল্পনা অনুযায়ী চলতে সাহায্য করে অবাক করা ডাউনটাইম ছাড়াই। ফলস্বরূপ, প্যারামিটারগুলির সাথে লড়াই কম হয় এবং আউটপুট আপনি পূর্বাভাস দিতে পারেন।
ইনস্টলেশন করার সময় আপনার যা করতে হবে
ল্যাম্পের ফুটপ্রিন্ট এবং ইন্টারফেসকে আপনার কোটার/বেক ট্র্যাকের সাথে মেলে তা প্রথম পদক্ষেপ। আমরা সংযোগকারী স্পেসিফিকেশন এবং অ্যালাইনমেন্ট ডেটা প্রদান করি, তবে আপনাকে এখনও ওভেন ক্যাভিটির জ্যামিতি নিশ্চিত করতে হবে। প্রোফাইলটি আপনার রেজিস্ট স্ট্যাকের সাথে লক করতে দ্রুত বার্ন-ইন এবং তাপীয় ম্যাপিংয়ের প্রত্যাশা করুন। এবং একটি বাস্তবিক নোট: ল্যাম্পটি উচ্চ-তাপ বেকের সময় ট্রেস ভোলাটাইলগুলি পরিচালনা করার জন্য একটি ক্লিনরুম-মূল্যায়িত এক্সভাস্ট পাথের সাথে যুক্ত হতে হবে।