MEMS ওয়েফারগুলো শুকানোর সময় সেগুলোকে নিরাপদ রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। বাস্তবিকতা হলো, রাসায়নিক পদার্থ দিয়ে ওয়েফারগুলো পরিষ্কার করার পর সেগুলো...

ফ্যাব লেভেলে, ড্রাইং প্রক্রিয়ায় সামান্য ত্রুটিও ফটোরেজিস্টের গুণমানকে ক্ষতিগ্রস্ত করতে যথেষ্ট। এর ফলে ওয়েফারগুলো নষ্ট হয়ে যায়, আর...

300 mm লাইনে, শুকানোর সময় 0.1°C এর নিচে একটি ড্রিফট ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনকে ন্যানোমিটার পর্যায়ে সরিয়ে দিতে যথেষ্ট—এবং পার্টিকেল কাউন্ট বাড়তে শুরু...