Giữ cho các wafer sạch sẽ: Sự thật về các bóng đèn hồng ngoại không chứa ozone
Trong môi trường sản xuất chip bán dẫn với quy mô lớn, việc bóng đèn hỏng là một điều kinh khủng. Không chỉ gây ra sự gián đoạn trong quá trình sản xuất, mà còn khiến các mảnh thủy tinh và chất hóa học văng tung tóe khắp nơi. Điều này gây ra sự hỗn loạn hoàn toàn, và làm giảm tỷ lệ sản xuất ngay lập tức.
Chúng tôi đã tạo ra những bóng đèn hồng ngoại không chứa ozone nhằm ngăn chặn tình trạng này xảy ra.
Vấn đề liên quan đến ozone
Hầu hết các bóng đèn hồng ngoại thông thường phát ra bức xạ trong khoảng từ 185nm đến 254nm. Vấn đề là bức xạ này phản ứng với oxy để tạo thành ozone. Trong môi trường sạch, ozone chính là kẻ thù gây hại.
Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng các sợi dây tóc được xử lý đặc biệt cùng loại thủy tinh quartz chất lượng cao. Điều này giúp chuyển dịch phổ ánh sáng, khiến các bước sóng gây ra ozone không còn tồn tại nữa. Bạn vẫn có đủ nhiệt lượng cần thiết để đốt cháy các chất cần xử lý, nhưng không còn hiện tượng ăn mòn do ozone nữa.
Ngăn chặn việc vỡ bóng đèn
Hầu hết các bóng đèn bị vỡ do tác động của nhiệt độ – tức là chúng không thể chịu đựng được sự thay đổi nhiệt độ đột ngột từ lạnh sang nóng.
Chúng tôi sử dụng loại thủy tinh quartz tổng hợp có độ giãn nở rất thấp. Nhờ đó, bóng đèn có thể chịu được những tác động nhiệt mà không bị vỡ. Nhưng chúng tôi còn thêm vào một lớp bảo vệ bên ngoài để bảo vệ bóng đèn. Nếu thủy tinh quartz bị vỡ, lớp bảo vệ này sẽ giúp giữ các mảnh vỡ lại với nhau, tránh cho chúng rơi xuống các wafer.
Một vài lưu ý về nhiệt độ
Khi bạn sử dụng công suất cao trong một không gian hẹp, các bộ phận của bóng đèn sẽ bị ảnh hưởng.
Các bóng đèn của chúng tôi được thiết kế để chịu được tải trọng lớn, nhưng bạn vẫn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát có thể hoạt động hiệu quả. Nếu dòng khí lưu thông yếu, các bộ phận của bóng đèn sẽ bị quá nhiệt và dẫn đến việc bóng đèn hỏng. Đây là vấn đề vật lý đơn giản, nhưng nhiều người lại mắc phải nó.
Nhờ chú trọng đến chất lượng thủy tinh quartz và các nguyên lý vật lý liên quan, chúng tôi đã giảm được lượng mảnh vỡ được tạo ra. Điều này giúp bóng đèn vẫn giữ nguyên trạng thái, ngay cả khi phải chịu tải trọng lớn.