Як підтримувати чистоту ваших пластин: правда про інфрачервоні лампи без озону
У великомасштабних виробництвах напівпровідників несправність лампи є справжнім кошмаром. Йдеться не лише про перерву у роботі. Якщо кварцова трубка розривається над кремнієвою пластиною, на місці залишаються уламки скла та хімічні залишки. Це справжній безлад, який миттєво знижує ефективність виробництва.
Ми створили наші інфрачервоні лампи без озону саме для того, щоб запобігти цьому.
Проблема з озоном
Більшість стандартних інфрачервоних ламп випромінюють світло в діапазоні від 185 нм до 254 нм. Проблема полягає у тому, що це світло реагує з киснем, у результаті чого утворюється озон. У чистій кімнаті озон є серйозним фактором, який пошкоджує обладнання.
Щоб вирішити цю проблему, ми використовуємо спеціальні філаменти та кварц високої чистоти. Це дозволяє змістити спектр світла так, щоб довжини хвиль, які спричиняють утворення озону, взагалі не існували. Ви все одно отримуєте достатню кількість тепла для процесу висихання, але без шкідливих наслідків від озону.
Запобігання розриву трубки
Більшість трубок розривається через термічні удари – вони не можуть витримати різке перепади температур. Ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти. У нього дуже низький коефіцієнт розширення, тож він може витримувати значні навантаження без розриву. Але ми не зупинилися на цьому. Ми також додали захисний слой, який слугує своєрідним „захисним кожухом“. Якщо кварц все ж розривається, слой допомагає утримати все разом, щоб уламки не потрапляли на пластини.
Кілька слів про тепло
Коли велика кількість енергії проходить через малий простір, це призводить до перегріву самої лампи. Наші лампи розроблені для високих навантажень, але ви повинні переконатися, що система охолодження може справлятися з цим. Якщо потік повітря занадто слабкий, корпуси ламп будуть перегріватися, а герметичні елементи – пошкоджуватися. Це проста фізична проблема, але саме тут багато хто робить помилки.
Завдяки увазі до чистоти кварцу та фізичних особливостей конструкції ламп, нам вдалося значно зменшити кількість уламків. Це означає, що лампи залишаються цілими, навіть коли піддаються великим навантаженням.