
Як забезпечити безпеку під час сушіння пластин MEMS
Реальність така: сушіння пластин датчиків MEMS після хімічної очистки – це своєрідна гра з вогнем. Елементи нагріву розташовані прямо поруч із легкозаймистими та вибухонебезпечними парами. Якщо спробувати використати для цього звичайну інфрачервону лампу, це призведе до проблем.
Саме тому ми створюємо наші інфрачервоні нагрівачі по-особливому. Ми загортаємо їх у спеціальну оболонку, яка запобігає впливу хімікатів на філамент та, що ще важливіше, не дозволяє виникненню вогню.
Секрет полягає у герметичному закритті.
Ми використовуємо герметично закриті кварцові корпуси та покриття, які не пошкоджуються під дією агресивних хімікатів. Головна мета – забезпечити повну ізоляцію електричних контактів від повітря. Ми використовуємо високоякісні епоксидні чи скло-металеві з’єднувачі, щоб леткі органічні сполуки не могли потрапити всередину корпусу лампи.
Уявіть собі: якщо герметичність порушується та філамент перегоряє, ця мініатюрна іскра може спричинити вибух. Ми розробили процес герметизації так, щоб цього ніколи не сталося.
Баланс між теплом та безпекою
Ці нагрівачі випромінюють інтенсивне короткохвильове випромінювання, що дозволяє швидко висушити пластини, не пошкоджуючи сам матеріал. Це складний баланс. Ми налаштовуємо потужність так, щоб температура поверхні залишалась нижче температури спалаху хімічних пар.
Ви отримуєте швидку евапорацію рідини, але потрібно стежити за потоком повітря. Ці лампи генерують велике тепло. Якщо система відводу тепла працює неефективно, тепло накопичується в камері, і це створює ризик.
Жодних проблем під час технічного обслуговування
Ми не хотіли, щоб ви витрачали години на ремонт, тож створили ці пристрої як замінники, які можна легко встановити на місце.
Електропроводка розрахована на роботу в небезпечних умовах; використовується міцний ізоляційний матеріал, який не буде пошкоджуватися після кількох сотень циклів нагріву. Ми також відмовилися від крихких з’єднувачів, які з часом руйнуються. Натомість ми використовуємо надійні, стійкі до вібрацій з’єднувачі.
Це зводить ризик виникнення електричних дуг до нуля. Коли настає час заміни лампи, достатньо просто замінити її, затягнути кріплення – і все знову працює. Без складних робіт з перепідключенням.