Havayı ısıtarak zaman kaybetmeyi bırakın
Eğer yarı iletken üretiminde sıcak hava dolaşımı konusuyla çalıştıysanız, bu durumun ne kadar sinir bozucu olduğunu bilirsiniz. Süreç oldukça yavaştır; çalışma parçasının ısınması için fırının tamamen ısınmasını beklemek zorundasınız. Bu, aslında yemek pişirmeye başlamadan önce bir odayı ısıtmaya çalışmak gibidir.
Biz ise farklı bir yöntem kullanıyoruz. Alüminyum yansıtıcılarla birlikte kullanılan IR lambaları sayesinde ısı doğrudan malzemenin içine girer. Böylece hava ısınmak zorunda kalmaz.
Alüminyum neden önemli?
Bir IR lambasını düşünün: Isının yarısı doğrudan makinenin gövdesine geri gönderilir. Bu tamamen israftır. İşte burada yüksek saflıkta alüminyum devreye girer. Alüminyum, fotonları yansıtarak tüm enerjiyi tekrar malzemenin üzerine yönlendirir. Alüminyum, kısa ve orta dalga boylarındaki ışınları çok iyi şekilde yansıttığı için çok daha etkili bir ısı dağılımı sağlar.
Bekleme süresini azaltmak
Sıcak hava sistemlerinin büyük bir “termal ataleti” vardır; yani istikrar kazanmaları uzun sürer. IR sistemlerinde ise durum böyle değildir. Doğru yansıtıcılarla donatılmış bir IR sistemi sayesinde ısıtma sürecindeki bekleme süresi ortadan kalkar. Her wafer için gereken süre azalır çünkü odak noktası malzemenin kendisidir, çevresindeki hava değil.
Ancak dikkat!
Bu bir sihir değil. Yüksek yansıtma özelliğine sahip alüminyum harika olsa da biraz hassastır. Eğer kötü kimyasal ortamlarda çalışıyorsanız veya aşırı ısı altında işlem yapıyorsanız, yüzey okside olabilir. Böyle bir durumda yansıtma özelliği düşer. Toz ve kalıntılar da büyük sorunlardır; eğer yansıtıcılar kirlenirse verimlilik düşer ve ısı dağılımı kötüleşir. Yansıtıcıları temiz tutarsanız, they’ll continue to work properly.
Çoğu yarı iletken üretiminde bu yöntem en iyisidir. Hem çok fazla alan tasarrufu sağlar hem de konvektif fırınların ısınmasını beklemenin getirdiği sıkıntıları ortadan kaldırır. Ancak unutmayın: Soğutma fanlarının, malzemeye ulaşmayan ısıyı kontrol edebilecek kapasitede olması gerekir. Aksi takdirde waferleri işlerken kendi elektronik cihazlarınız zarar görebilir.