Enerji israfı olmadan waferlerin doğru şekilde işlenmesi
Eğer bir yarı iletken fabrikasında karbon nötralitesine ulaşmak istiyorsanız, her şey ısıyı nasıl kontrol ettiğinizle ilgilidir. Waferleri işlerken – fotoreakif maddeleri sertleştirmeye veya çözücülerden kurtarmaya çalışırken – enerjiyi boşa harcamamak önemlidir.
Sır, mutlaka daha büyük bir ısıtıcı kullanmak değildir. Asıl mesele, ısının sadece makinenin gövdesini ısıtmak yerine doğrudan wafer üzerine gitmesini sağlamaktır. İşte bu noktada yüksek yansıtma özelliğine sahip IR yansıtıcılar devreye girer.
Enerjinizin yarısını boşa harcamayın
Standart bir lambayı düşünün; ısıyı her yöne, yani 360 dereceye yayar. Bir işleme hattında bu durumda enerjinizin yarısı boşa gider.
Biz ise altın veya alüminyumla kaplanmış yansıtıcılar kullanarak bu fotonları tekrar substratın üzerine yönlendiriyoruz. Böylece wafer yüzeyine daha fazla ısı iletilir.
En iyi yanı ise lambanın gücünü azaltabilecek veya konveyör bandının hızını artırabilecek olmanızdır. Böylece elektrik tüketimi azalır ve oda içine sızan ısı da azalır. Bu da kazan-kazan durumudur.
Doğru malzemelerin seçimi
Genellikle yüksek saflıktaki alüminyum veya altın kaplı alaşımlar tercih edilir. Altın, oksitlenmeden aşırı sıcaklıklara dayanabildiği için altın standarttır. Ancak bu durum bütçenizi zorlayacaktır.
İşin zor kısmı şu: Eğer yüksek güçlü bir sistem kullanıyorsanız, yansıtıcının kendisi de zarar görebilir. Dolayısıyla koruyucu kabuğunun iyi havalandırılması gerekmektedir. Eğer yansıtıcı çok ısınırsa, kaplama bozulur. Bu da wafer üzerinde “sıcak noktalar” oluşmasına neden olur ve böylece tüm parti bozulmuş olur.
Önemli olan hassasiyettir
“Yeşil Fabrika” modeline geçmek ve her wafer için gereken enerjiyi azaltmak harika bir şey gibi görünse de bir dezavantajı vardır. Isıyı bu kadar yoğunlaştırdığınızda, pozisyonlandırmanın kesin olması gerekir. Eğer wafer birkaç milimetre bile hareket ederse, ısı yoğunluğu aniden düşer.
Bu yüzden kesinlikle hassas bir mekanik düzenek kullanmalısınız ki substrat tam olarak odak noktasında kalabilsin. Ayrıca, sıcaklığın aşırı artmaması için hassas bir PID kontrolleri de gereklidir.