การรักษาความปลอดภัยขณะทำให้แผ่นเซ็นเซอร์ MEMS แห้ง
ความจริงก็คือ การทำให้แผ่นเซ็นเซอร์ MEMS แห้งหลังจากการทำความสะอาดด้วยสารเคมีนั้น เหมือนกับการเล่นกับไฟเลยทีเดียว เพราะมีอุปกรณ์ทำความร้อนอยู่ใกล้กับไอระเบิดได้ง่าย หากพยายามใช้หลอดอินฟราเรดธรรมดาในการทำให้แผ่นเซ็นเซอร์แห้ง ก็เท่ากับก่อให้เกิดปัญหาได้เลย
นั่นคือเหตุผลที่เราออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดให้แตกต่างออกไป เราใช้วัสดุพิเศษมาหุ้มอุปกรณ์เหล่านี้ เพื่อป้องกันไม่ให้สารเคมีกัดกินสายไฟ และที่สำคัญคือเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดการลุกไหม้ได้
ความลับอยู่ที่การปิดผนึก
เราใช้ภาชนะทำจากควอตซ์ที่มีการปิดผนึกอย่างสนิท พร้อมวัสดุเคลือบที่ทนต่อสารเคมีได้ดี จุดประสงค์ก็คือเพื่อให้ส่วนที่เป็นสายไฟอยู่ห่างจากอากาศโดยสิ้นเชิง เราใช้วัสดุเอป็อกซี่คุณภาพสูงหรือวัสดุที่เชื่อมระหว่างแก้วกับโลหะ เพื่อป้องกันไม่ให้สารอินทรีย์ระเหยเข้าไปในตัวหลอดได้
ลองคิดดูสิ หากการปิดผนึกล้มเหลวและสายไฟเสียหาย ประกายไฟเล็กๆ นั้นก็อาจก่อให้เกิดไฟไหม้ได้ เราออกแบบกระบวนการปิดผนึกให้มั่นใจว่าสิ่งนี้จะไม่เกิดขึ้นเลย
การหาจุดสมดุลระหว่างความร้อนกับความปลอดภัย
เครื่องทำความร้อนเหล่านี้ใช้รังสีความถี่สูงเพื่อทำให้แผ่นเซ็นเซอร์แห้งอย่างรวดเร็ว โดยไม่ทำให้วัสดุที่ใช้ทำแผ่นเซ็นเซอร์เสียหาย เป็นการหาจุดสมดุลที่ละเอียดอ่อนมาก เราปรับกำลังไฟให้อุณหภูมิผิวอยู่ต่ำกว่าจุดวาบไฟของสารเคมี
คุณจะได้รับการระเหยที่รวดเร็วตามที่ต้องการ แต่ก็ต้องคอยดูแลการไหลเวียนของอากาศด้วย เพราะหลอดเหล่านี้มีความร้อนสูง หากระบบระบายอากาศทำงานช้าลง ความร้อนก็จะสะสมอยู่ในห้อง และนั่นก็อาจก่อให้เกิดอันตรายได้
ไม่มีปัญหาในการบำรุงรักษา
เราไม่อยากให้คุณต้องใช้เวลาหลายชั่วโมงในการซ่อมแซม ดังนั้นเราจึงออกแบบให้อุปกรณ์เหล่านี้สามารถเปลี่ยนได้ง่ายๆ สายไฟมีความทนทานสูง และไม่แตกหรือสึกหรอหลังจากการใช้งานหลายร้อยครั้ง เรายังใช้ตัวเชื่อมต่อที่มั่นคง ไม่เกิดการหลวมเมื่อมีการเคลื่อนไหว ด้วยวิธีนี้ ความเสี่ยงจากการเกิดประกายไฟก็จะหมดไป และเมื่อถึงเวลาเปลี่ยนหลอด คุณก็เพียงแค่เปลี่ยนหลอดใหม่ ขันสายไฟให้แน่น แล้วอุปกรณ์ก็สามารถใช้งานได้อีกครั้ง ไม่มีปัญหาเรื่องการต่อสายไฟอีกต่อไป