Как сохранить чистоту кристаллических пластин: правда о инфракрасных лампах без озона
В производстве полупроводников при высоких объемах производства сбой лампы становится настоящим кошмаром. Речь идет не только о периоде простоя оборудования. Если кварцевая трубка разрушается над кристаллической пластиной, по всему помещению разлетаются осколки стекла и остатки химикатов. Это полный беспорядок, который мгновенно снижает качество продукции.
Мы разработали инфракрасные лампы без озона именно для того, чтобы избежать таких ситуаций.
Проблема с озоном
Большинство стандартных инфракрасных ламп излучают свет в диапазоне от 185 до 254 нм. Проблема в том, что этот свет реагирует с кислородом, в результате чего образуется озон. В чистой комнате озон представляет собой серьезную угрозу – он разрушает окружающую среду.
Чтобы решить эту проблему, мы используем специальные нити и кварц высокой чистоты. Это позволяет сместить спектр излучения так, чтобы длины волн, способные создавать озон, отсутствовали. Таким образом, сохраняется необходимое количество тепла для процесса затвердевания, но при этом отсутствуют коррозийные эффекты.
Предотвращение разрушения трубок
Большинство трубок разрушается из-за термических шоков – они не могут выдерживать резкие изменения температуры. Мы используем синтетический кварц высокой чистоты. У него очень низкий коэффициент расширения, поэтому он может выдерживать значительные нагрузки без трещин. Но мы не остановились на этом. Мы также добавили защитный слой, который служит своего рода «защитным кожухом». Если кварц все же разрушится, этот слой сохранит все в целости, предотвращая попадание осколков на кристаллические пластины.
Несколько слов о тепле
Когда большое количество энергии проходит через маленькое пространство, сама лампа испытывает сильные нагрузки. Наши лампы разработаны для работы под высокими нагрузками, но необходимо убедиться, что система охлаждения способна справляться с этим. Если поток воздуха слишком слаб, крышки лампы перегреваются, и герметичность нарушается. Это простая физическая проблема, но многие люди делают ошибки именно здесь.
Благодаря акценту на чистоте кварца и физических свойствах конструкции лампы, мы смогли значительно снизить количество частиц, выделяющихся при ее работы. Это значит, что лампы остаются целыми даже при высоких нагрузках.