На производственном участке тепловые факторы негативно влияют на качество изделий. Например, повышение температуры на 0,5°C на поверхности пластины во время процедуры высушивания фотополимера или нестабильная работа лампы во время процесса испарения превращают процесс, который должен быть предсказуемым, в процесс с высоким уровнем случайностей. Мы разработали нагревательную лампу Evatec, чтобы исключить такие неопределенности.
Что важно с технической точки зрения:
Лампа использует галогеновый источник света коротких волн, расположенный внутри кварцевого корпуса. Благодаря этому обеспечивается быстрое и мощное излучение тепла с временем реакции менее одной секунды. На всей площади активной зоны температура остается стабильной в диапазоне ±0,1°C. Стабильность температуры сохраняется на всех этапах процесса. Конструкция лампы не вызывает появления частиц, поэтому уровень загрязнения в чистой комнате остается на нужном уровне. Лампа может работать 24/7 без перерывов, а ее производительность остается стабильной в течение более 5000 часов – с падением не более 5%.
Почему это работает на практике:
Будь то высушивание пластин после очистки, контролируемое высушивание фотополимера, отверждение защитных слоев или окончательная процедура промывки и высушивания, температурный режим остается стабильным. Высокая стабильность температуры способствует снижению количества дефектов на краях пластин, уменьшает количество операций по доработке изделий и обеспечивает точный контроль размеров при литографии. Быстрая реакция лампы сокращает время выполнения процесса, а стабильная производительность снижает количество бракованных изделий и сокращает расход энергии на обработку одной пластины.
Что вам нужно знать:
Для правильной установки необходимо соответствующим образом подключить кабели лампы и убедиться, что ее геометрическая форма совпадает с формой отверстия в камере. Интенсивность излучения лампы настраивается под конкретные параметры испарения. При замене лампы на другой аппарат необходимо быстро скорректировать параметры ее работы. После замены рекомендуется провести кратковременную проверку для подтверждения стабильности температурного режима.