На этапе литографии даже небольшое изменение температуры во время процесса обжига фотополимера на 2°C может привести к смещению критических размеров изделий на несколько нанометров. Это делает множество пластин бесполезными для дальнейшего использования. Инфракрасный нагреватель R7s предназначен для поддержания стабильной температуры именно в той зоне, где это необходимо, а не во всем пространстве помещения.
Что важно при использовании устройства
Устройство R7s излучает коротковолновый инфракрасный свет, который направленно распространяется на фотополимер и подложку. Температура быстро достигает заданного значения и остается стабильной. На поверхности пластин температура должна быть одинаковой в пределах ±0,1°C. Это обеспечивает стабильность процесса обжига в каждой партии продукции.
Кварцевая оболочка и расположение нагревательных элементов спроектированы таким образом, чтобы при увеличении мощности нагрева не возникало образования частиц. В чистых комнатах класса 1–100 это помогает сохранять стабильное количество частиц. Кроме того, устройство обеспечивает стабильную работу в течение более 5 000 часов с падением параметров менее чем на 5%, что позволяет использовать его круглосуточно без необходимости постоянной калибровки.
Почему это подходит для процесса литографии
Процесс литографии требует строгого контроля температуры. Чрезмерный обжиг приводит к вытеснению растворителя и изменению вязкости материала. Недостаточный обжиг приводит к образованию капель на краях пластин, что мешает правильному нанесению слоев. С помощью устройства R7s можно точно контролировать температуру и время обжига, что обеспечивает одинаковые результаты при производстве каждой партии продукции.
Такая стабильность снижает количество необходимых корректировок, повышает качество продукции и сокращает время производства. Кроме того, благодаря быстрой реакции устройства и низким потерям энергии, требуется меньше энергии для работы устройства. Длительный срок службы также снижает необходимость замены устройства и простоев в производственном процессе.
Что нужно учитывать
Устройство R7s предназначено для использования в стандартных креплениях типа R7s. Однако крепление должно соответствовать спецификациям устройства — геометрия отражателей и расположение воздушных потоков должны соответствовать тепловому профилю лампы для обеспечения стабильности температуры в пределах ±0,1°C. Перед достижением заданной температуры требуется небольшой период разогрева, поэтому необходимо синхронизировать работу устройства с контроллером процесса нанесения слоев.
Для получения наиболее стабильных результатов рекомендуется использовать устройство R7s в комплекте с калиброванным датчиком температуры и контроллером, способным компенсировать изменения напряжения в сети.