Hoe u uw wafers schoon houdt wanneer de IR-lampen onder hoge belasting uitvallen
Laten we eerlijk zijn: in een systeem met hoge belasting is het een nachtmerrie wanneer een lamp kapotgaat. Het gaat niet om één kapot onderdeel dat je in vijf minuten kunt vervangen. Er ontstaat chaos: wanneer een kwartsbuis breekt, vallen er glasscherven en halogengas op de wafers terecht. Dat betekent dat een hele batch verloren is en dat er veel werk voor nodig is om de kamer schoon te maken.
Wij bouwen onze IR-lampen zodat dit niet gebeurt.
Omgaan met de hitte
Deze lampen werken bij zeer hoge temperaturen om de gewenste snelheid te bereiken. Om te voorkomen dat het glas onder deze hitte barst, gebruiken we hoogpuur gefuseerd kwarts. Dit materiaal kan de spanning beter verdragen.
Maar het echte geheim zit in de manier waarop we de halogencyclus binnenin de buis beheren. Als het filament te snel verdampt, stijgt de druk in de buis. Dat leidt tot een explosie. Door deze cyclus optimaal te beheren, blijft alles stabiel.
Voorkomen van vuil
We nemen twee stappen om de kamer schoon te houden. Eerst maken we de wanden van de buis dik genoeg om de druk onder hoge belasting te kunnen weerstaan.
Maar we stoppen hier niet bij. We raden altijd aan om een beschermende kwartslaag of een veiligheidsnet te gebruiken. Denk erbij aan als een soort ‘verzekering’. Als een lamp toch kapotgaat, vangen deze barrières het vuil op. Want geloof me: u wilt zeker geen glasdeeltjes in uw vacuümkamer hebben.
De realiteit van de balans
Hier is het probleem met de vermogensdichtheid: hoe sneller u de lamp verwarmt, hoe meer stress er op de uiteinden van de lamp komt te staan.
Als het koelsysteem niet goed werkt, gaan de sluitingen oververhitten en worden zwakker. Dan faalt de buis eerder dan nodig is. Ik heb veel systemen gezien die kapotgingen omdat er vuil in de koelstroming terechtkwam.
Zorg ervoor dat er lucht doorheen kan stromen. Het is een simpele stap, maar het is de beste manier om ervoor te zorgen dat uw lampen lang meegaan en dat uw wafers schoon blijven.