Op de productielijn verloopt het lithografieproces in zijn eigen tempo – je kunt niet gewoon pauzeren wanneer het proces aan de gang is. Als de IR-temperatuur tijdens het verhitten van de fotoresist fluctueert, moet je plotseling rekening houden met veranderingen in de afmetingen van de componenten. Hierdoor neemt de kwaliteit van het product af. Wat nodig is, is een constante temperatuur die over het hele plaatje gelijkmatig wordt gehouden, zodat er elke keer dezelfde thermische omstandigheden heersen wanneer het product door de machine gaat.
Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken IR-verwarmers die precies op de plekken waar het nodig is warmte leveren, gebruikmakend van een kortegolflengte-infraroodbron die is afgestemd op het proces. Over het hele plaatje moet de temperatuur binnen ±0,1°C gelijkmatig zijn, en de setpoint moet binnen ±0,2°C constant blijven. Op deze manier krijgt elk batch dezelfde behandeling. Het kwartsbasisse ontwerp zorgt ervoor dat er geen deeltjes worden gegenereerd en dat het systeem compatibel blijft met schoonruimten van klasse 1–100. Dankzij de gesloten regelcyclus, gecombineerd met een sensortype A, blijft de temperatuur onder controle en wordt overschrijdingen van 0,5°C voorkomen. Dit beschermt de gevoelige componenten en zorgt er tegelijkertijd voor dat het proces snel kan worden afgerond.
Waarom dit werkt in de productie: Tijdens 24/7-productie blijft de machine zonder onverwachte stilstand draaien. We hebben geen fouten geconstateerd tijdens continue shifts. Uit fielddata blijkt dat de apparaten meer dan 5.000 uur kunnen werken zonder dat de output minder wordt dan 5%. De temperatuur fluctueert minder dan 0,1°C per 1000 uur. Dit betekent dat de controles van de afmetingen nauwkeuriger zijn, er minder defecte producten zijn, en dat er planning mogelijk is voor onderhoud. De snelle opwarmtijd zorgt ervoor dat de productietijd verkort wordt, zonder dat de kwaliteit van het product wordt aangetast.
De praktische details: Voor de installatie is een speciale, gereguleerde stroomvoorziening nodig, evenals goede EMI-bescherming, zodat de regelcyclus proper blijft. De verwarmers passen in standaard OEM-stations, maar de thermische interface moet goed afgestemd zijn. Anders leiden onjuiste configuraties tot kleine oneffenheden in de temperatuur. Plan een korte testperiode in, zodat je de parameters kunt instellen. Daarna blijven de parameters constant, shift na shift.