Het behouden van veiligheid bij het drogen van MEMS-wafers
De realiteit is dat het drogen van MEMS-sensorwafers na een chemische reiniging best gevaarlijk kan zijn. Er zijn immers verwarmingsonderdelen die zich direct naast ontvlambare en explosieve stoffen bevinden. Als je probeert hiervoor een gewone infraroodlamp te gebruiken, loop je grote risico’s.
Daarom ontwerpen we onze IR-verwarmers op een andere manier. Ze worden omhuld door een speciale coating die voorkomt dat chemicaliën het gloeidraad beschadigen. Bovendien zorgt deze coating er ook voor dat er geen vuur kan ontstaan.
Het geheim zit in de afsluiting
We gebruiken een hermetisch afgesloten kwartsomhulsel en coatings die bestand zijn tegen harde chemicaliën. Het doel is om de elektrische contactpunten volledig te isoleren van de lucht. We gebruiken hoogwaardige epoxy- of glas-naar-metaalafsluitingen zodat de vluchtbare organische verbindingen (VOC’s) niet in de lamp kunnen komen.
Stel je eens voor: als de afsluiting faalt en het gloeidraad kapotgaat, kan die kleine vonk tot een brand leidden. We hebben het afsluitproces zo ontworpen dat dit nooit zal gebeuren.
Het evenwicht tussen warmte en veiligheid
Deze verwarmers zenden hoge-intensiteitstraling uit, zodat de wafers snel drogen zonder dat het substraat beschadigt wordt. Het is een delicate balans. We passen de vermogensniveau’s aan zodat de oppervlaktetemperatuur veilig blijft onder het ontvlamningspunt van de chemicaliën.
Je krijgt dus de snelle verdamping die je nodig hebt, maar je moet wel goed opletten op de luchtcirculatie. Deze lampen werken bij hoge temperaturen. Als het afvoersysteem trager werkt, stapelt zich warmte op in de kamer – en dat is gevaarlijk.
Geen problemen tijdens onderhoud
We wilden niet dat je urenlang bezig zou zijn met reparaties. Daarom hebben we deze apparaten zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. De bedrading is speciaal ontworpen voor gevaarlijke omgevingen; het isolatiemateriaal breekt of lost niet op na enkele honderden hittecycli. We hebben ook gekozen voor stevige connectoren die niet losraken na verloop van tijd. Hierdoor is het risico op elektrische storingen nul. Wanneer het tijd is voor een vervanging, hoef je alleen de lamp te vervangen en de aansluitingen vast te maken. Geen rommelig herstelwerk nodig.