Voorkom dat uw infraroodlampen uw wafers beschadigen
Het uitvoeren van productiecycli met hoge belasting is zwaar voor infraroodverwarminglampen. Ze worden ernstig onder druk gezet.
Als een lamp uiteindelijk het begiftigt – of erger nog: explodeert in de verwarmerkamer – is dat een nachtmerrie. U heeft dan overal stukjes kwarts en andere restanten. Dat beschadigt niet alleen de chip die u aan het bewerken bent, maar het verstoort ook al uw werkzaamheden, omdat u de hele productielijn moet stopzetten om het groene tapijt op te ruimen.
Omgaan met explosies
De echte vijand hier is thermische schok. Als het kwartskoerslakje kleine oneffenheden bevat of als de wanden niet perfect recht zijn, zal de hitte ervoor zorgen dat het glas ongelijkmatig uitzet. Hierdoor ontstaan scheuren.
Wij gebruiken hoogzuivere synthetisch kwarts. Dit materiaal wordt gelijkmatig warmer, waardoor het bestand is tegen snelle schommelingen in temperatuur.
Maar eerlijk gezegd breken lampen toch nog weleens. Daarom gebruiken we een beschermende huls rondom de lamp. Denk erbij aan als een veiligheidsnet. Als de lamp uiteenbarst, blijven de restanten binnenin de huls zitten. Uw silicium blijft dan schoon, en u hoeft geen paniek te maken.
Voor lange gebruikstijd
Om stabielheid te bereiken, gebruiken we een gloeidraad die bestand is tegen hoge temperaturen. Hierdoor verdampt het tungst niet en blijft de hitteoutput constant, zelfs na duizenden uren gebruik. We gebruiken ook versterkte eindkapjes. Als er gas ontsnapt, gaat de lamp eerder kapot.
Een tip: wees voorzichtig met de stroomvoorziening. Het is verleidelijk om de spanning van de lamp te verhogen om zo een snellere opwarmtijd te krijgen. Maar dit is risicovol. Het versnelt de slijtage van de gloeidraad en vergroot het risico op een catastrofale explosie.
Het compromis
Het nadeel is dat deze beschermende huls een beetje invloed heeft op de infraroodstraling. U verliest dus een klein beetje directe warmte.
Het is geen groot probleem, maar u moet wel een paar dingen aanpassen. U kunt de vermogenssterkte van de lamp verhogen of de verwarmer wat dichter bij de chip plaatsen. Zorg er wel voor dat uw koelventilatoren het extra warmteverbruik aankunnen, anders loopt u het risico dat het frame vervormt.